Occasion ULTRATECH XLS 200 #9382961 à vendre en France
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ULTRATECH XLS 200 Wafer Stepper est un équipement de lithographie avancée spécialement conçu pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices de sous-microns. Ce système possède les dernières technologies d'imagerie et d'exposition de pointe, offrant aux utilisateurs les plus hauts niveaux de précision et de contrôle des coûts. ULTRATECH XLS200 utilise une plate-forme optique intégrée escamotable avec un groupe motopropulseur double pas qui fournit une précision jusqu'à un nanomètre entier. La plate-forme dispose d'une étape de balayage plein champ, d'un générateur de motifs intégré et d'une machine d'exposition automatisée. Le générateur de motifs intégré a une précision de répétition de 10nm et peut atteindre des résolutions très précises de 0,5 μ m. Le XLS 200 est équipé d'un outil d'exposition avancé, avec l'étage de balayage intégré capable de scanner jusqu'à 200mm wafers à une vitesse de 6 s/scan. L'actif d'exposition comporte plusieurs algorithmes, dont la compensation optimisée de la puissance d'exécution, l'alignement monolithique et la mise en forme des doses, ce qui permet aux utilisateurs de maximiser le débit et de réduire la consommation d'énergie. XLS200 dispose en outre d'un modèle de gestion de la piste entièrement automatisé. Cette fonctionnalité permet de charger les entrées plus rapidement et avec moins de réglages manuels pour garantir le débit et la précision les plus élevés. L'équipement de gestion de la piste de la plaquette fournit également un historique complet du système qui permet aux utilisateurs de suivre les erreurs, de retracer les erreurs et d'optimiser les opérations pour effectuer les tâches rapidement et efficacement. ULTRATECH XLS 200 est l'unité de lithographie ULTRATECH la plus puissante et la plus avancée, et est conçu pour répondre aux plus hauts niveaux de précision et de contrôle des coûts exigés par l'industrie des semi-conducteurs. Avec sa plate-forme optique intégrée, sa capacité de résolution supérieure et ses systèmes automatisés d'exposition et de gestion des pistes de plaquettes, ULTRATECH XLS200 est la machine de choix pour les cycles critiques de fabrication et de développement.
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