Occasion ULTRATECH XLS 7500 #9166601 à vendre en France

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Fabricant
ULTRATECH
Modèle
XLS 7500
ID: 9166601
i-Line lens Removed from TROPEL 2145 Reduction: 5x Wavelength I-line NA: 0.45 Field size (Without pellicle): 21 mm EPD (Entrance pupil distance): 273 mm Included: Illuminator optics Mirrors Kaleidoscope Condenser Documentation.
ULTRATECH XLS 7500 est un pas de plaquette de nouvelle génération de Panasonic conçu pour l'imagerie de haute précision de la filière entière. C'est une plate-forme d'imagerie optique avancée qui automatise le processus de mise en place sur et hors d'une plaquette. Le XLS 7500 permet aux fabricants de produire des lots de plaquettes jusqu'à sept fois plus rapides que les générations précédentes. L'équipement de livraison optique de l'ULTRATECH XLS 7500 offre des performances supérieures en termes de résolution, de décalage de focalisation et de profondeur de focalisation. Il a également une profondeur de focalisation étendue qui permet une flexibilité optimale lors de l'imagerie de plaquettes jusqu'à 300 mm de diamètre. Le XLS 7500 est conçu avec un système d'imagerie intelligent afin qu'il ajuste automatiquement les paramètres d'exposition au besoin. Cela garantit une imagerie haute résolution avec des temps d'exposition minimes. L'ULTRATECH XLS 7500 est conçu avec un moteur d'auto-réglage. Cela permet un positionnement précis et rapide des plaquettes sur l'ensemble du spectre de résolution. L'entraînement du moteur élimine le besoin de réglage manuel, et assure la cohérence de la qualité d'image à travers la plaquette. Le XLS 7500 offre également une vaste chaîne de vues et une zone de capture. Cela permet de charger plus de chaînes en une seule exposition, permettant ainsi un débit plus élevé. Le stepper dispose également d'une machine intégrée de contrôle des défauts qui identifie et élimine automatiquement les plaquettes de défaut. Cela garantit que seules les plaquettes vierges sont envoyées à l'étape suivante de traitement. L'ULTRATECH XLS 7500 offre également une suite d'alignement de vue complète. Il maximise automatiquement le nombre de champs utilisables et examine l'alignement de chaque champ avant la capture d'image. Cela garantit que les motifs sont placés avec précision sur l'ensemble de la plaquette avec un désalignement minimal. Le XLS 7500 permet également l'intégration avec des systèmes de métrologie en ligne. Cela permet aux fabricants de mesurer quantitativement les résultats de chacune de leurs étapes de placement et d'imagerie après chaque exposition pas à pas. Ceci fournit un degré élevé de précision dans le processus de production. Dans l'ensemble, l'ULTRATECH XLS 7500 est un pas de plaquette puissant et efficace conçu pour produire des lots de plaquettes jusqu'à sept fois la vitesse des générations précédentes. Il combine un puissant outil d'imagerie optique avec des systèmes intégrés de contrôle et d'alignement des défauts, et un moteur d'entraînement intégré. Il fournit également une chaîne de vision complète et une zone de capture, et l'intégration avec les systèmes de métrologie en ligne, permettant un processus de production très précis.
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