Wafer Steppers d'occasion à vendre - page #6

Un pas de plaquette est un outil critique utilisé dans le procédé de fabrication de semi-conducteurs pour réaliser des circuits intégrés (IC) sur des plaquettes de silicium. Il agit comme un système de lithographie de projection, qui transfère les motifs complexes de la conception du circuit sur la surface de la plaquette. Le composant central d'un pas de plaquette est le système de lentilles. Il se compose de lentilles de haute qualité qui focalisent et projettent le circuit sur la plaquette avec une extrême précision. Le système de lentilles joue un rôle crucial dans la définition de la résolution et de la précision du transfert de motifs. Les paliers Wafer utilisent des techniques d'imagerie avancées, utilisant des sources de lumière ultraviolettes (UV) pour améliorer la résolution et permettre de plus petites tailles de fonctionnalités sur la plaquette. La source lumineuse est traversée par un réticule, une plaque transparente contenant le motif du circuit, puis projetée sur la surface de la plaquette à travers le système de lentilles. La plaquette est déplacée pas à pas sous le système de lentille pour exposer différentes zones, assurant la fixation de la plaquette entière. Les paramètres clés des marches en plaquettes comprennent le temps d'exposition, l'ouverture numérique, la profondeur de focalisation et la taille du champ. Le temps d'exposition correspond à la durée d'exposition à la lumière pour chaque étape de la tranche, tandis que l'ouverture numérique détermine la capacité de résolution du système. La profondeur de focalisation représente la distance admissible entre la lentille et la plaquette, ce qui permet des variations de planéité de la plaquette. La taille du champ définit la zone qui peut être modélisée en une seule exposition. Les paliers de wafer sont essentiels pour la fabrication de semi-conducteurs, permettant la production d'IC hautement complexes avec des dispositifs miniatures. Leur progression constante dans les capacités de résolution a été essentielle pour stimuler la croissance exponentielle de l'industrie des semi-conducteurs et faciliter le développement d'applications technologiques de pointe.