Occasion ACCRETECH / TSK RVF600A #9410239 à vendre en France
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ID: 9410239
Coordinate measurement system
X, Y, Z: 600 x 500 x 300 mm
Platform: 800 x 1045 mm.
ACCRETECH/TSK RVF600A est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour l'inspection et l'évaluation de plaquettes à haut débit. Il est capable de mesurer les caractéristiques électriques, d'analyser les défauts et les mesures de surface telles que la rugosité et la planéité. Le système comprend une unité d'imagerie haute résolution capable de détecter des défauts aussi petits que 0,15 μ m et un large éventail de types de motifs tels que des motifs circulaires, linéaires et diagonaux. TSK RVF600A offre une variété de capacités de test et de métrologie, y compris la gravure plasma, le décapage photorésiste et la métrologie des tranchées profondes. Il est équipé d'une bibliothèque intégrée de recettes de test et d'algorithmes avancés de traitement d'image qui permettent une analyse rapide des plaquettes. La machine est capable d'inspecter des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre, et est compatible avec plusieurs types de plaquettes dont le silicium, SOI, silicium sur verre (SOG), saphir et saphir sur verre (SOG). Les capacités de métrologie intégrées d'ACCRETECH RVF600A sont conçues pour aider les utilisateurs à mesurer et à analyser avec précision la surface d'une plaquette. Ces caractéristiques comprennent des évaluations de la rugosité de surface, des évaluations de la planéité et des mesures de profondeur. L'outil appuie également diverses tâches d'inspection des modèles, telles que le focus/defocus, l'alignement/localisation, la correction des chevauchements et l'évaluation des défauts. De plus, RVF600A comprend des modes d'inspection et de détection des défauts très avancés basés sur l'image. Ces caractéristiques permettent à l'actif d'acquérir, de comparer et d'analyser plusieurs vues de la surface d'une plaquette en même temps, permettant une détection et une analyse complètes des défauts. Dans l'ensemble, ACCRETECH/TSK RVF600A est un puissant modèle d'inspection et d'analyse de plaquettes, équipé d'une série de capacités de test et de métrologie avancées. Il est conçu avec un accent sur la vitesse, la précision et la précision, et fournit aux utilisateurs une solution complète pour l'inspection et la caractérisation des plaquettes.
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