Occasion ADE / KLA / TENCOR 5810 #9170075 à vendre en France

L'équipement ADE/KLA/TENCOR 5810 Wafer Testing and Metrology est un outil polyvalent et efficace conçu pour répondre à un éventail de besoins d'application dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Il dispose d'un débit élevé avec une large gamme de capacités de test de plaquettes, permettant des processus de test de plaquettes rapides et précis. Le système dispose d'une technologie de métrologie de scatterométrie avancée à cassette complète innovante et avancée, qui est conçue pour mesurer la distribution angulaire de la lumière diffusée à partir de la surface d'une plaquette. Cette caractéristique fournit une analyse d'une large gamme d'épaisseurs de film, ainsi qu'une mesure précise et simultanée des motifs de photomasque et de guide d'onde sur une seule plaquette. En outre, cette fonctionnalité réduit la complexité et le coût, car plusieurs mesures peuvent être effectuées simultanément. L'unité est construite sur une plate-forme hautement automatisée, avec un microscope d'imagerie TEM haute résolution intégré inclus. Cela permet d'effectuer une grande variété d'opérations d'analyse d'images, de l'EBSD (electronic backscatter diffraction) aux mesures de capacité et au traitement de gravure. Par exemple, le microscope d'imagerie TEM peut être utilisé pour mesurer la taille des gouttelettes, la densité des lignes et l'orientation des motifs, ce qui est extrêmement utile pour l'inspection des défauts des puces semi-conductrices. De plus, la machine est également capable d'effectuer des procédures avancées de test de plaquettes, telles que l'isolation de défauts et la caractérisation de surface 3D. Ce type de capacité est indispensable pour comprendre les performances globales de la plaquette ainsi que pour isoler les défauts liés au processus. Enfin, l'outil ADE 5810 Wafer Testing and Metrology est conçu pour être convivial et permettre des débits plus élevés, tout en offrant des niveaux élevés de précision et de précision. Avec un large éventail de fonctionnalités et de capacités, l'actif est un choix idéal pour ceux qui s'intéressent à tester rapidement et avec précision les plaquettes pour une variété de buts.