Occasion ADE / KLA / TENCOR 603 #9397720 à vendre en France
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ADE/KLA/TENCOR 603 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour répondre aux exigences des applications de contrôle de processus les plus exigeantes. Le système fournit des mesures d'analyse de surface à haute vitesse et haute précision des appareils à différents niveaux du processus de production. L'unité est capable de détecter des défauts aussi petits que 5nm, assurant une métrologie très précise et d'excellentes performances de rendement. L'ADE 603 est équipé d'un incubateur à balayage rapide (FSI) et d'un logiciel de contrôle automatisé des défauts (ADR), offrant des mesures précises et une plus grande précision que les systèmes traditionnels d'inspection des plaquettes. Le FSI permet à la machine de mesurer rapidement les caractéristiques de surface du dispositif, ce qui permet une acquisition et une analyse rapides des données. Le logiciel ADR assure une automatisation précise de la détection des défauts, contribuant à améliorer les performances et les rendements. L'outil KLA 603 est soutenu par une variété d'options d'outils, dont une archive de mesure automatisée (AMA), un atout de sonde tactile multidimensionnelle et un outil d'inspection basé sur l'interférométrie laser. L'AMA est une caractéristique unique du modèle, qui permet d'archiver automatiquement les dimensions, les profils de fonctionnalités et les rapports de reconnaissance de motifs, en soutenant la plus grande précision. L'équipement tactile étendu, capable de mesurer jusqu'à 4 axes et 10 points sur les surfaces du dispositif, fournit des mesures précises des structures individuelles, ainsi que des mesures de profil complet. Enfin, l'outil de contrôle à base d'interférométrie laser permet un contrôle sans contact des surfaces et des couches de passivation. 603 est un choix idéal pour les applications de contrôle de processus haut de gamme, permettant des mesures exactes et une analyse complète de la taille et de la forme du dispositif. La puissante combinaison de mesures d'analyse de surface à grande vitesse et haute précision, d'outils faciles à utiliser et d'architecture avancée permet un rendement et un rapport coût-efficacité maximaux.
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