Occasion ADE / KLA / TENCOR 6033T #196422 à vendre en France
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ID: 196422
Taille de la plaquette: Up to 6"
Wafer thickness measurement system, up to 6"
Specifications:
Non-contact
All electronic gaging
Measures thickness and total thickness variation (TTV).
ADE/KLA/TENCOR 6033T est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour la métrologie de la photoluminescence infrarouge à domaine spectral (PL) et du champ de diffusion laser (SF) des dispositifs semi-conducteurs avancés à 1063 nm. Le système est équipé d'un microscope optique agrandi de 60x, de deux sources laser avec des longueurs d'onde centrales réglables, et d'une unité optique qui couvre la gamme spectrale de 200-1700 nm. Le microscope optique est utilisé pour inspecter la plaquette et pour aligner et focaliser les lasers. La machine optique permet des modes de mesure PL statiques et dynamiques, permettant aux utilisateurs de prendre des mesures détaillées des performances de la plaquette. L'ADE 6033T offre également un comptage des particules en temps réel, qui permet d'avoir un aperçu de toute contamination sur la plaquette. KLA 6033T est intégré à une suite logicielle qui fournit une interface utilisateur graphique pour les tests intuitifs et l'analyse des données, ainsi que les algorithmes logiciels pour l'analyse automatisée, l'appariement des appareils et la correction des erreurs. Le logiciel soutient aussi la surveillance lointaine et la direction de multiple 6033T les systèmes d'un point d'accès simple. TENCOR 6033T offre une large gamme de fonctionnalités conçues pour rendre la métrologie des plaquettes plus facile et plus précise. L'outil utilise des algorithmes de détection très sensibles pour détecter même de petites différences entre les appareils sur la plaquette. Il permet également d'identifier les défauts, de détecter les dispositifs anormaux et de mesurer les transistors et autres noeuds internes avec une précision sous-micrométrique. L'actif comprend un laser refroidi à l'air de 765 nm couplé à un laser ultra-stable de 532 nm capable de délivrer une puissance moyenne allant jusqu'à 60mW dans la gamme spectrale pour la mesure PL. Les lasers avancés fournissent également une plus grande précision pour capturer les détails fins et pour les tests au niveau des plaquettes sur une large gamme de longueurs d'onde. Dans l'ensemble, ADE/KLA/TENCOR 6033T est un modèle d'essai et de métrologie de plaquettes incroyablement fiable et précis, conçu pour répondre aux besoins exigeants de l'industrie des semi-conducteurs. Il offre l'ultime précision, vitesse et flexibilité, permettant aux utilisateurs de mesurer rapidement et avec précision les performances de leurs appareils.
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