Occasion ADE / KLA / TENCOR 6035 #134761 à vendre en France

ADE/KLA/TENCOR 6035 est un équipement d'essai et de métrologie de wafer conçu pour analyser les caractéristiques des dispositifs de production associées aux processus semiconducteurs de génération actuelle. Ce système est idéal pour l'évaluation des composants et assemblages non emballés ou emballés. ADE 6035 est composé d'une série de composants qui permettent à l'unité d'effectuer des mesures critiques pour la caractérisation des défauts, le rendement des essais et le contrôle avancé des procédés. Le cœur de la machine KLA 6035 est la structure mécanique, qui comprend un servomoteur de plaquettes et une grande surface, table de substrat à grande vitesse. Le booster de plaquette est utilisé pour charger et décharger la plaquette d'échantillon vers et depuis le tableau. Cette fonctionnalité permet un retournement rapide des plaquettes, assurant une manipulation précise des échantillons et des résultats de test de plaquettes de haute qualité cohérents. La table à substrat haute vitesse est conçue pour fournir un débit élevé de plaquettes en permettant des essais parallèles et la métrologie de plusieurs plaquettes à la fois. TENCOR 6035 est équipé d'un outil d'inspection optique automatisée avancée (AOI). Cet actif est capable de détecter et de caractériser des défauts tels que des raccourcis électriques et des ouvertures. Il permet également à l'utilisateur d'acquérir des images topographiques haute résolution et des images en coupe transversale 2D. La microscopie automatisée de 6035 utilise une méthode d'inspection appelée imagerie en champ lumineux. L'imagerie en champ lumineux permet de visualiser en temps réel des caractéristiques fines au niveau de la production. De plus, la microscopie ADE/KLA/TENCOR 6035 fournit également des images haute résolution des défauts des plaquettes, tels que les largeurs de ligne, les trous de broche, la lithographie des bords, les vides et la rugosité des bords de ligne. En plus de l'AOI, l'ADE 6035 est également équipé d'un wafer prober. Ce modèle permet de tester électriquement des zones spécifiques sur la plaquette, afin d'identifier les écarts de performances. Le wafer prober comprend également un logiciel qui permet de contrôler les fonctions et les opérations du prober. KLA 6035 est également capable de réaliser une métrologie de haute précision de la structure de la plaquette. Les capacités de métrologie de cet équipement fournissent des informations quantitatives sur les propriétés des matériaux et le comportement mécanique des plaquettes. Il est capable de fournir des mesures 3D de surface, telles que la hauteur du pas, la topographie et la rugosité de surface. Il est également capable de mesurer les paramètres de forme et d'uniformité des plaquettes, y compris les contours, les écarts et le profil de surface. En résumé, TENCOR 6035 est un système automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie offrant des fonctionnalités avancées pour la caractérisation des défauts, la mesure du rendement des essais et le contrôle des processus. Cette unité est composée de plusieurs composants, tels que la structure mécanique, la machine AOI, wafer prober, et les capacités de métrologie. l'outil 6035 fournit également des informations quantitatives sur la structure et les caractéristiques des plaquettes.