Occasion ADE / KLA / TENCOR 6035 #293654293 à vendre en France

ADE / KLA / TENCOR 6035
ID: 293654293
Wafer resistivity gauges.
ADE/KLA/TENCOR 6035 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes de premier plan mondial développé par ADE Corp. Ce système utilise une interférométrie de lumière blanche sans contact (WLI) avancée pour permettre l'inspection, la mesure et la caractérisation des plaquettes semi-conductrices. La technologie WLI fonctionne en recueillant un motif d'interférence à partir de la plaquette et en calculant la topographie de surface à partir de ce motif. Ceci est fait par un faisceau objet de lumière qui utilise un capteur de déplacement basé sur une image à faible distorsion pour une grande précision spatiale. Le faisceau objet est ensuite superposé à un faisceau de référence qui balaie l'échantillon selon des étages XY asservis en z-piézomètre, assurant des balayages latéraux rapides et fiables à travers l'échantillon. ADE 6035 est capable de capturer jusqu'à seize paramètres différents à la fois, permettant une variété de défauts et de mesures de métrologie tels que la topographie des particules et de la surface, la planéité, les hauteurs des marches, les répétitions inclinées et inclinées. Ces mesures peuvent être effectuées en champ sombre et en champ lumineux à l'aide d'un filtre optique spécialisé. L'unité comprend également un programme d'analyse de surface basé sur le contour, permettant aux utilisateurs de comparer les résultats de plusieurs surfaces en même temps. Cette fonction permet aux utilisateurs de visualiser les modèles et les tendances dans les données de surface, aidant à identifier les corrélations entre les échantillons. En outre, la machine dispose d'une fonction de re-mesure, qui permet des mesures minutieuses et fiables des caractéristiques spécifiques dans le temps. Enfin, KLA 6035 est capable de fournir aux clients leurs propres mises en page personnalisées pour la gestion des échantillons, avec des fonctionnalités telles que le clonage d'emploi et le chargement rapide de tests spécifiques. Ceci est particulièrement utile pour ceux qui inspectent régulièrement plusieurs plaquettes en même temps. En résumé, 6035 wafer testing and metrology outil fournit une solution WLI avancée et sans contact qui offre une gamme d'avantages tels que les mesures multi-paramètres, l'analyse de surface de contour et la gestion personnalisable des échantillons. Cet atout est idéal pour ceux de l'industrie des semi-conducteurs qui doivent inspecter et mesurer plusieurs plaquettes en même temps.
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