Occasion ADE / KLA / TENCOR 7000 #98411 à vendre en France
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Vendu
ID: 98411
Taille de la plaquette: 4" - 6"
Wafercheck inspection / resistance bow warp check system, 4" to 6"
(4) Senders
(12) Receivers
Heads: low and high resolution
Thickness station
High res station
Pre-aligner
Manual
Does not include computer (compatible with HP computer)
Some spare elevators are available.
ADE/KLA/TENCOR 7000 est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de haute précision conçu pour mesurer et surveiller la performance des procédés de fabrication tels que la gravure, le dépôt, la résistivité et l'alignement. Le système est capable d'inspecter et de mesurer des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre à l'aide de divers outils et techniques avancés. L'ADE 7000 se compose de quatre composants principaux : une tête de balayage rapide, des mandrins tridimensionnels, une unité de vision et un logiciel de contrôle des processus. La tête de balayage est équipée d'une machine de vision AlignMark™, capable de mesurer jusqu'à des milliers d'emplacements par seconde sur une plaquette. Les mandrins tridimensionnels permettent une mesure tridimensionnelle complète et permettent à l'opérateur de régler la position des composants spécifiques de la plaquette pour des mesures plus précises. L'outil de vision est constitué d'un puissant microscope optique capable de mesurer des paramètres critiques tels que la dimension x-y et la largeur de ligne. KLA 7000 dispose également d'une interface RS232 et peut être connecté à la plupart des autres ordinateurs standard. Cela permet à l'actif d'interagir avec d'autres équipements tels qu'un analyseur d'impédance pour mesurer la résistivité des plaquettes. En outre, un certain nombre de fonctions avancées d'analyse des données et de rapport sont intégrées au modèle fournissant à l'opérateur des résultats graphiques détaillés. L'équipement fournit également une liste complète des paramètres de processus qui peuvent être facilement ajustés et contrôlés pendant le processus de fabrication. Cela permet à l'opérateur de maximiser la précision de ses mesures et d'assurer des résultats cohérents de haute qualité. En outre, le système est hautement personnalisable et peut être utilisé dans une variété d'applications. Au total, 7000 est une unité d'essai et de métrologie avancée conçue pour fournir des résultats de mesure précis et fiables. Il offre un puissant microscope optique, des mandrins tridimensionnels, une tête de balayage à grande vitesse et un logiciel de contrôle des processus pour garantir des résultats précis dans une variété de processus de fabrication. En outre, la machine est hautement personnalisable et fournit une variété de fonctions avancées d'analyse de données et de reporting.
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