Occasion ADE / KLA / TENCOR 780 MRT #9132937 à vendre en France

ADE/KLA/TENCOR 780 MRT est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour aider à caractériser les processus de wafer et à identifier les défauts de processus, en fournissant des informations sur la performance du processus et, en fin de compte, en contribuant à réduire les coûts de fabrication. L'ADE 780 MRT comporte deux têtes de mesure qui contiennent chacune des capteurs pour mesurer les propriétés électriques de la surface de la plaquette et un système de capture d'image pour l'imagerie détaillée de la surface de la plaquette. Ces têtes de mesure effectuent la réflectance spectrale de la plaquette, l'imagerie des défauts, les mesures de fuites électriques et les mesures de planéité et de chaîne de la plaquette. Les deux têtes de mesure peuvent être utilisées simultanément pour effectuer des mesures en ligne et hors ligne. La plaquette peut être traitée en ligne tandis que l'autre tête est prête pour une mesure en temps réel ; cette capacité permet la détection précoce des défauts dans le cycle de production et une rétroaction rapide pour l'amélioration des procédés ou la prévention des défauts. Des mesures en ligne peuvent être utilisées pour suivre divers aspects du procédé, tels que la propreté des plaquettes, l'épaisseur de la couche diélectrique et la planéité. Les mesures hors ligne peuvent ensuite être utilisées pour détecter et caractériser les défauts, traiter les non-uniformités et surveiller les spécifications critiques, telles que la rugosité de surface, le rapport oxyde/silicium et les niveaux de contamination. KLA 780 MRT offre également des capacités d'analyse étendues, fournissant des informations approfondies sur les matériaux testés, permettant à l'utilisateur de comprendre rapidement les tendances sur la plaquette et entre différents lots de plaquettes. L'unité peut générer des diagrammes de diffusion multi-paramètres des données collectées à partir des mesures, aider à identifier les problèmes et guider les mesures correctives. En outre, la machine offre une gamme de solutions logicielles liées à la métrologie pour analyser les données recueillies à partir des mesures. Ces solutions peuvent fournir des rapports détaillés, effectuer des analyses statistiques et comparer les données de divers sites sur la plaquette, ainsi que de différents lots de plaquettes. 780 MRT est très polyvalent et peut être personnalisé avec une variété d'options matérielles, telles qu'une armoire anti-poussière, un outil automatisé de mise en scène de plaquettes, un actif de surveillance intégré, et un contrôle de la température et de l'humidité. Dans l'ensemble, TENCOR 780 MRT offre une plate-forme complète et polyvalente pour les essais de plaquettes et la métrologie, permettant aux clients de tirer le meilleur parti de leurs processus de plaquettes. Il aide à cerner et à caractériser les problèmes de processus rapidement et avec précision, et fournit l'information nécessaire pour les mesures correctives.