Occasion ADE / KLA / TENCOR 9350 #9128720 à vendre en France
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Vendu
ID: 9128720
System
ASC controller
RES station
Pre aligner
(2) cassette stations
Rest station
ARM robot
E station.
ADE/KLA/TENCOR 9350 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie qui convient à de nombreux procédés différents, y compris la photo-lithographie, le polissage chimique-mécanique (CMP) et le dépôt. Le système comprend deux composantes, un sous-système intégré de métrologie et d'inspection des plaquettes et un sous-système de contrôle. Les sous-systèmes intégrés permettent des tests efficaces et des processus de métrologie, ce qui fait de l'unité un choix idéal pour de nombreuses finalités industrielles. Le sous-système intégré de métrologie et d'inspection des plaquettes comprend une gamme d'optiques d'imagerie haute résolution, des outils d'éclairage supplémentaires et une machine de métrologie automatisée. L'optique d'imagerie permet une analyse complète, y compris l'imagerie microscopique, les mesures de caractéristiques, la caractérisation des défauts et la cartographie des contours, entre autres. Les outils d'éclairage permettent un éclairage uniforme de la plaquette, ce qui contribue à réduire les aberrations d'image causées par les extrêmes d'intensité lumineuse. L'outil de métrologie automatisé capture et stocke instantanément des images de la plaquette sous de multiples angles, ce qui permet une analyse et une caractérisation détaillées. Le sous-système de contrôle de l'ADE 9350 est composé d'un contrôleur haute performance et d'une interface graphique utilisateur conviviale (interface graphique). Le contrôleur est utilisé pour contrôler les paramètres du processus, tandis que l'interface graphique permet à l'utilisateur de mettre en place des processus automatisés de test et de métrologie et de visualiser les données acquises en temps réel. L'interface graphique conviviale permet également à l'utilisateur de stocker des images de différentes plaquettes, qui peuvent être consultées à des fins de comparaison. En outre, le contrôleur est également capable d'effectuer des traitements de données tels que la reconnaissance de défauts, la reconnaissance de motifs et le contrôle de processus. Dans l'ensemble, KLA 9350 est un outil de test et de métrologie efficace et fiable qui convient à de nombreuses applications industrielles. Le sous-système intégré de métrologie et d'inspection des plaquettes fournit une analyse et une caractérisation complètes des plaquettes, tandis que le sous-système de contrôle est facile à utiliser et permet des tests automatisés et des processus de métrologie. La combinaison de ces deux sous-systèmes permet des tests précis et fiables et la métrologie des wafers, faisant du modèle un choix idéal pour de nombreux processus.
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