Occasion ADE / KLA / TENCOR 9500 #9281188 à vendre en France

ADE/KLA/TENCOR 9500 est un système d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour répondre aux besoins des ingénieurs de dispositifs à couches minces pour des applications avancées de semi-conducteurs. Il fournit un ensemble complet de capacités de métrologie, permettant aux utilisateurs de mesurer avec précision un large éventail de couches de processus. Sa combinaison unique de microscopie optique, d'interférométrie laser, de scatterométrie et d'autres techniques le rend bien adapté à la pré-caractérisation et au dépannage post-rendement des processus semi-conducteurs. Le dispositif est capable de mesurer avec précision les propriétés optiques, électriques et structurelles des couches minces sur une plaquette. Il comprend des capacités de cartographie, d'imagerie et d'analyse de la topographie de surface (avec résolution sub-angstrom) et des caractéristiques électriques d'un échantillon. De plus, le système peut effectuer une variété de fonctions telles que la mesure de la dimension critique (CD), l'imagerie structurée et l'examen en ligne des défauts. L'ADE 9500 offre également un alignement rapide automatique de l'échantillon et de multiples fonctions automatisées telles que l'optimisation de la focalisation laser, la recherche de particules, la recherche de die, l'examen de terrain et le zoom sur la région d'intérêt. Il est conçu pour assurer un rendement de mesure uniforme et fiable grâce à un étalonnage de routine. Le système comprend une variété d'outils modulaires qui sont adaptés à des étapes de processus spécifiques et à divers besoins des utilisateurs. Des relevés précis des données sont générés rapidement et avec précision. Les utilisateurs ont accès à un logiciel puissant, mais intuitif, qui leur permet de stocker des images, d'analyser les résultats et de générer des rapports pour le partage. Enfin, KLA 9500 dispose d'outils de flux de travail intuitifs et graphiques (GUI) qui aident les utilisateurs à accomplir les tâches plus rapidement et plus simplement. Des fonctionnalités supplémentaires telles que le transfert rapide de données et la transmission automatisée de données assurent un environnement de travail homogène. Cette technologie ainsi que sa technologie de métrologie de pointe de l'industrie en font un excellent choix pour toute application semi-conductrice avancée.