Occasion ADE / KLA / TENCOR 9520 UltraGage #9245050 à vendre en France
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ID: 9245050
Dimensional measurement system
ASC200 Controller included
Thickness: ± 1.00µ
Shape (Bow / Warp):
±( 3.00 + 5% of reading) µm
±( 4.00 + 5% of reading) µm
Global flatness: ± 0.50 µm
Integral wafer centering and pre-aligner
Backside contacting chuck
Vacuum chuck diameters:
Small (23.3 mm): 3", 100 mm -150 mm wafers
Large (33.4 mm): 125 mm- 200 mm wafers
Wafer contact materials:
Resting pads: Santoprene
Vacuum chuck: Polyurethane
Nominal wafer thickness range: 250 µm - 750 µm
Auto-loader:
Single / Dual cassette
Sorting: Slot-to-slot / Cassette-to-cassette
Backside contact, horizontal cassette orientation
Wafer contact material: Teflon
Nominal wafer thickness range: 250 µm - 750 µm
Conductivity type: P / N
Edge exclusion:
Thickness: 3 mm / 5 mm
Shape: 3 mm
Nominal wafer thickness: 250 µm - 750 µm
Resistivity: > 0.1-200 Ω cm
Edge gradient: 0.1 µm/mm
Power supply:
Temperature range: 12.7°- 29.4° C (55° - 85° F)
Relative humidity: 55 to 95% non-condensing
Vacuum: 0.6 SCFM, 635 mm (25") Hg ± 10%
Peak usage: 2.8 kVA
Voltage: 100/120/200/208/220/230/240 VAC ± 10%
50/60 Hz, Single phase.
ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGage est un équipement d'essai et de métrologie avancé conçu et fabriqué par ADE. ADE 9520 UltraGage utilise des technologies innovantes combinées à des capacités logicielles et matérielles avancées pour fournir le plus haut niveau de précision, de précision et de performance. Le système est conçu pour aider ses utilisateurs à mesurer une gamme de caractéristiques et de paramètres critiques sur les plaquettes et les substrats utilisés dans les industries semi-conductrices et microélectroniques. KLA 9520 UltraGage est basé sur une plate-forme de métrologie optique haute vitesse avec une optique haut de gamme et un traitement d'image. Cela permet aux utilisateurs de mesurer une large gamme de caractéristiques de plaquettes avec une résolution et une précision sans précédent. L'unité est spécialement conçue pour l'inspection de substrats semi-conducteurs d'un diamètre pouvant atteindre 12 pouces. Il dispose d'un étage avancé XY qui supporte jusqu'à 12 pouces de plaquettes, ce qui en fait un outil puissant pour mesurer les caractéristiques minuscules sur différents substrats. La machine est équipée d'une variété de caractéristiques qui lui permettent d'effectuer des mesures de paramètres critiques efficacement. Cela comprend un outil avancé de cartographie des plaquettes qui peut détecter les défauts de traces, les défauts et la contamination sur une plaquette d'échantillon. Il dispose également d'algorithmes puissants qui permettent une analyse précise des valeurs mesurées et la détection statistique de la non-uniformité entre différents substrats. En outre, 9520 UltraGage dispose d'un logiciel intégré qui permet aux utilisateurs de personnaliser les paramètres pour les applications de contrôle de la qualité des plaquettes et de métrologie, leur permettant d'obtenir des résultats plus fiables. L'actif est également équipé d'un modèle d'étalonnage intégré pour garantir des mesures précises et répétables, tandis qu'un microscope optique puissant permet d'identifier rapidement les défauts de surface. TENCOR 9520 UltraGage est un outil idéal pour le contrôle et la caractérisation de la qualité pendant le traitement des plaquettes. Grâce à ses caractéristiques puissantes, à sa précision et à sa précision exceptionnelles, l'équipement peut fournir des informations précieuses sur la fabrication et l'inspection des plaquettes. En offrant des performances et une fiabilité améliorées, ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGage aide les entreprises à réduire leurs coûts et à garantir la qualité en même temps.
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