Occasion ADE / KLA / TENCOR 9600 / 9700 #9008898 à vendre en France
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Vendu
ID: 9008898
Wafer inspection system
(2) Input
(3) Outpuut
Hi-res station
ASC controller
Signal arm robot
E-plus stage
No probe arm.
ADE/KLA/TENCOR 9600/9700 Wafer Testing and Metrology Equipment est un système de métrologie de pointe conçu pour aider les fabricants de semi-conducteurs à analyser et à cartographier les plaquettes. Il utilise une combinaison de méthodes optiques, chimiques, électriques et mécaniques pour fournir une analyse complète de diverses étapes de processus. L'unité est basée sur une conception flexible et modulaire, permettant une intégration facile dans les processus de test et d'analyse existants. ADE 9600/9700 est capable de mesurer une grande variété de paramètres, y compris la métrologie, y compris la résistivité, la capacité, l'épaisseur, la topographie de surface et la composition, tandis que la 9700 dispose de capacités avancées de détection et de caractérisation des défauts. Les systèmes 9600 et 9700 sont construits autour d'une puissante plateforme d'acquisition et d'analyse de données qui peut stocker jusqu'à 2 To de données. La machine peut être adaptée aux besoins spécifiques des fabricants individuels de semi-conducteurs, permettant à la fois un débit élevé et la précision. L'outil peut exécuter des processus manuels et automatisés, ce qui lui permet d'être utilisé pour des tests de développement et de production. Il est capable de mesurer une variété de tailles d'échantillons, des puces simples aux plaquettes jusqu'à 450mm de diamètre, et est conçu pour fournir des lectures fiables et précises sans dérive due à l'exposition ou à l'oxydation. KLA 9600/9700 asset est équipé d'une vaste gamme de dispositifs de mesure optiques, mécaniques et électriques, y compris un modèle d'imagerie CCD à 8 niveaux pour les mesures de wafer haute résolution, un profilomètre optique haute résolution pour les mesures de topographie de surface, et un capteur de résistivité pour les mesures de capacité 2D et 3D. Les autres caractéristiques comprennent un faible courant d'obscurité/équipement d'auto-testabilité pour la détection éclairée des courts et des circuits ouverts sur les plaquettes, et un système d'examen des défauts pour la localisation et la caractérisation des défauts. TENCOR 9600/9700 est une unité avancée de métrologie et de test de plaquettes conçue pour un débit et une précision élevés. La machine dispose d'un design modulaire, permettant aux clients d'ajouter et d'étendre sa fonctionnalité selon les besoins. Cela en fait un outil inestimable pour les fabricants de semi-conducteurs, fournissant des capacités complètes d'essai de plaquettes et de métrologie.
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