Occasion ADE / KLA / TENCOR 9600 #9241349 à vendre en France
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Vendu
ID: 9241349
Wafer inspection system
E+ Station
Pre-aligner station
(2) Send cassettes
ASC 2000 System controller
Options:
(3) Receive cassettes
Hi Res station
Lo Res station
Dual end effector robot
Light curtain.
ADE/KLA/TENCOR 9600 est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe conçu pour mesurer avec précision les caractéristiques électriques des produits de niveau wafer. Le système ADE 9600 intègre des technologies avancées de microscopie par faisceau et une unité optique localisée qui permet des mesures très précises et fiables. La machine fournit une cartographie automatique pour le test au niveau de la plaquette et la mesure des paramètres électriques tels que la résistance, la capacité et les caractéristiques du transistor. KLA 9600 utilise une technique propriétaire d'analyse de pixels basée sur l'image qui élimine virtuellement les erreurs systématiques dues aux désalignements et aux distorsions. Son matériel comprend des scanners à deux axes, deux microscopes à deux faisceaux et un outil d'imagerie CCD pour des performances d'imagerie supérieures, permettant une résolution submicronique des paramètres électriques à travers la plaquette. L'actif est également intégré à une suite logicielle avancée, offrant des capacités complètes de traitement d'image, de cartographie, d'analyse et de diagnostic. Le modèle fonctionne de manière automatisée, assurant une traçabilité complète tout au long du processus complet d'essai et d'inspection, y compris l'accès aux données en temps réel de l'ensemble de la plaquette. Un équipement d'étalonnage actif assure des mesures précises, et une gestion unique des données basée sur la recette permet à TENCOR 9600 de s'adapter rapidement aux différentes conditions de traitement. 9600 fournit une précision et une fiabilité inégalées pour aider à répondre aux besoins changeants de la technologie moderne des plaquettes. Sa technologie brevetée de suivi des bords permet des mesures avec des niveaux de tolérance submicroniques et une détection précise des bords pour les essais d'inclusion des bords de plaquettes. Sa capacité d'étalonnage externe unique garantit des résultats cohérents quelle que soit la température. Son architecture flexible et évolutive permet des mises à niveau et des personnalisations, ce qui en fait l'outil idéal pour la caractérisation des plaquettes. En bref, le système ADE/KLA/TENCOR 9600 est un système d'essai et de métrologie avancé et très précis conçu pour fournir une mesure fiable des paramètres électriques pour répondre aux besoins de la technologie moderne des plaquettes. Grâce à sa gamme de fonctionnalités et de technologies puissantes, l'ADE 9600 offre des performances et une précision inégalées pour les processus de test et de validation en cours.
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