Occasion ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293645322 à vendre en France

ID: 293645322
Wafer inspection system 2006 vintage.
ADE/KLA/TENCOR AFS 3220 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir des mesures fiables et précises de paramètres multiples liés aux caractéristiques électriques, optiques et mécaniques et aux performances des plaquettes à semi-conducteurs. Ce système est capable de mesurer jusqu'à 32 plaquettes à la fois, ce qui permet des débits élevés pour le test et l'analyse des plaquettes. L'appareil fonctionne sous Windows 10 et dispose d'un écran de 21 pouces pour une configuration et un fonctionnement faciles. Un choix de logiciels est disponible pour étendre la gamme de mesures que la machine peut manipuler, lui permettant de couvrir un plus large éventail d'applications. Il comprend un microscope intégré et trois têtes de mesure, permettant un accès complet à la surface des plaquettes. L'ADE AFS 3220 est équipé d'un outil d'imagerie haute résolution permettant de mesurer avec précision des paramètres tels que la topologie de surface et les niveaux de contamination, les longueurs de linéarité, les dimensions critiques et la fidélité au recouvrement. Sa reconnaissance automatisée des motifs permet à l'actif de détecter les motifs, permettant une auto-étalonnage facile et des mesures de confirmation. Il est également capable de mesurer des structures de dispositifs à tolérance étroite et d'autres conceptions plus complexes. Le modèle peut mesurer à une précision supérieure à 10nm, ce qui le rend approprié même pour les technologies de processus à l'échelle submicronique. L'AFS 3220 de l'UCK intègre de multiples technologies et technologies de l'ADE, de l'UCK et de TENCOR. Il est basé sur une architecture de métrologie avec un mandrin de plaquette, un étage XY précis, et un équipement de contrôle de pointe de l'industrie. Il dispose d'un système d'analyse confocale laser de haute puissance pour l'imagerie précise, ainsi que de capteurs de courant de Foucault précis et fiables pour les mesures électriques. Il est équipé d'une unité d'imagerie RVB haute résolution et d'optiques isolées des vibrations pour améliorer encore la précision des mesures. AFS 3220 est conçu pour fonctionner avec un large éventail de substrats et d'applications. Sa conception modulaire et évolutive lui permet d'être intégré dans divers environnements de production, fournissant des mesures fiables et précises quelle que soit la taille du lot de production. Il est également équipé de dispositifs de sécurité standard pour protéger les opérateurs et la machine, ce qui le rend adapté aux essais et aux inspections 24/7 des plaquettes.
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