Occasion ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293757402 à vendre en France
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220 est un équipement semi-automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour mesurer les propriétés physiques, électriques et optoélectroniques des matériaux semi-conducteurs. Ce système fournit une inspection visuelle et une classification automatisée des défauts, une cartographie des plaquettes et des essais de résistance, ainsi qu'une station d'imagerie optique intégrée pour l'inspection de la surface et de l'arrière des plaquettes. L'ADE AFS 3220 comprend un microscope optique avec un pont programmable et une manœuvre bi-tête de 150 mm qui permet une inspection de haute précision des deux côtés de la plaquette. Une option d'inspection à haute résolution de la lumière polarisée et de la réflexion (PLR) facilite l'analyse de l'oxyde et du CARI et d'autres matériaux. L'unité comprend également un maximum de quatre diodes laser de mesure-pendant-inspecter (MWI), l'un des outils les plus populaires pour l'essai électrique rapide des dispositifs semi-conducteurs. Cette machine intégrée de haute précision fournit des lectures précises et répétables des paramètres du dispositif et permet la localisation électrique à grande vitesse des défauts. Un poste de travail est inclus dans l'outil pour permettre la métrologie des paramètres, l'analyse des images et le masquage des défauts en temps réel. La classification automatisée des défauts (ADC) permet aux utilisateurs de localiser et de classer rapidement les défauts en fonction des caractéristiques, tandis que la fonction de cartographie des wafers fournit un aperçu instantané de la structure des wafers et des modèles de données. La cartographie des plaquettes peut être appliquée aux deux parties et aux plaquettes de pleine hauteur. La KLA AFS 3220 est conçue pour répondre aux exigences les plus élevées de l'industrie en matière d'exploitation, de fiabilité et d'intégration des actifs. Ses composants et logiciels robustes sont conçus pour garantir une précision maximale des données et la stabilité du modèle. Il dispose d'une interface intuitive et conviviale et nécessite un minimum de maintenance et de formation. Ses multiples possibilités d'accès aux outils et d'options lui permettent d'être configuré pour une variété d'applications spécifiques aux clients, des solutions individuelles aux solutions multi-utilisateurs, tandis que son évolutivité en fait un investissement qui continuera à produire des résultats au fil du temps. L'équipement d'essai et de métrologie TENCOR AFS 3220 est conçu comme une solution intégrée pour répondre à tous vos besoins en matière d'inspection automatisée des plaquettes, de classification des défauts et d'essais électriques. Le système permet un rendement de production maximal, la précision, et des économies de coûts, et fournit l'information complète et cohérente nécessaire pour le développement et la production de la microélectronique avancée.
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