Occasion ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293757418 à vendre en France
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui fournit une haute résolution des données 2D et 3D pour des mesures spécifiques à l'application sur les surfaces frontales et latérales des plaquettes. Le système est conçu pour détecter les défauts de surface sur les plaquettes semi-conductrices, ainsi que pour mesurer divers paramètres de profil et de dimension critique. Cette unité permet une mesure modélisée avec un mouvement de scène indépendant sur les axes X et Y et utilise une machine d'imagerie haute vitesse et haute résolution qui combine le focus automatique, la reconnaissance de motifs et l'ingénierie de détection de défauts pour générer des images 2D et des images de surface 3D avec une résolution allant jusqu'à 5µm dans les axes X et Y. L'outil comprend également un miroir de 10 pouces et un outil motorisé de levage d'étages en z pour capturer les données, ainsi qu'un modèle d'éclairage intégré à 5 positions entièrement programmable avec des sources de lumière UV, Visible et IR, permettant une analyse précise de la réflectivité et des caractéristiques de surface. L'équipement hautement automatisé comprend également des outils avancés d'examen et de classification des défauts qui permettent l'analyse, le tri et l'identification des défauts. En outre, le système comprend l'ADE Process Monitor (KPM), qui fournit l'analyse des données en temps réel et la surveillance du rendement. Le KPM permet de déterminer les causes des défauts et permet une action corrective rapide et des rendements améliorés. Enfin, l'ADE AFS 3220 offre un environnement intégré pour la détection, l'examen et la classification des défauts ainsi que la mesure des paramètres sur les profils de surface 2D et 3D structurés. L'unité fonctionne sur une plate-forme Windows 10 et permet de personnaliser facilement les paramètres de révision et de mesure des défauts en fonction des besoins spécifiques. Avec une large gamme d'options, KLA AFS 3220 est une machine d'essai de plaquettes efficace et fiable pour l'évaluation et la comparaison de pièces à haut et faible volume.
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