Occasion ADE / KLA / TENCOR CR81e #293771795 à vendre en France

ID: 293771795
Style Vintage: 2003
Wafer inspection system (4) Cassette stations BROOKS AUTOMATION Load SMIF Robot arm BROOKS AUTOMATION Unload SMIF Robot arm KENSINGTON Robot with controller Inspection stage with optical module Vacuum: 21 SCFH at 26" Hg CDA: 81 PSI, 200 cu in/hr min General exhaust: 4" Duct, 400 CFM SSL Laser PSL Calibration Particle sensitivity: 120 nm LSE 105 nm LSE Spare parts for CR81e: Part number / Description 12051137 / LAMBDA Power supply box 12051333 / Dark R268PMT group 12051134 / Bright channel light vacuum tube 12058488 / Air pressure 12051338 / Dark channel arc mirror 12051339 / Focal lengh lens 100MMFL 25.4 mm 12051340 / Robatic arm set 12051513 / Standard wafer supporter 122052995 / PMT Air traffic controller 0092493-001 120562228 / Collection group 398-20281-1 12058498 / KENSINGTON Arm tip 12058499 / KENSINGTON Edge alignment chuck 12114222 / 68060 array processing board 398-20406-1 12114223 / Bright channel analog board CH-0398-20883-1 12114226 / Bright channel analog board CH-1398-20884-1 12114227 / HAZE Tablet 398-20705-1 12114228 / Daek channel X-Axis plate (12BIT) 398-20733-1 12115229 / Bright channel X-Axis plate 398-20630-1 12114231 / Bright channel X-Axis plate CH-1398-20706-1 12114232 / Origin of the pulse plate 398-20841-1 12149175 / CCD Signal transmission board, Robatic arm, 03142 121499223 / CCD Brush, Robot arm, 031409-27 12178367 / Oppsosite signal receiving board, 031409-08 Power supply: 208 VAC, 30 Amps, 47-63 Hz, 3 Phase 2003 vintage.
ADE/KLA/TENCOR CR81e est un équipement d'essai et de métrologie avancé conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une gamme complète de capacités pour caractériser et analyser les plaquettes semi-conductrices afin d'assurer la plus haute qualité et performance des circuits intégrés (IC) produits sur celles-ci. ADE CR81e est un outil très sophistiqué qui intègre diverses techniques de mesure pour fournir des données précises et fiables pour le contrôle des processus et la gestion des rendements dans la fabrication de semi-conducteurs. Une des caractéristiques clés du système KLA CR81e est sa capacité à effectuer des essais non destructifs sur les plaquettes semi-conductrices. Cela signifie que l'unité peut analyser les propriétés des plaquettes sans les endommager, ce qui permet aux fabricants de minimiser le gaspillage de matériaux et de réduire les coûts. La machine utilise une combinaison de techniques de mesure optique, électrique et physique pour évaluer les paramètres clés des plaquettes, tels que l'épaisseur, la topographie, la densité des défauts et les performances électriques. TENCOR CR81e est équipé de capacités d'imagerie avancées, y compris le champ lumineux, le champ noir et la microscopie confocale, pour visualiser la structure et la morphologie des plaquettes à haute résolution. Cela permet aux utilisateurs d'inspecter la qualité de surface, l'uniformité des motifs et les défauts présents sur les plaquettes avec précision et précision. L'outil comprend également des algorithmes automatisés d'analyse d'image qui peuvent traiter rapidement de grandes quantités de données pour identifier et classer les défauts pour une analyse plus approfondie. En plus de l'imagerie, CR81e utilise des techniques de spectroscopie avancées, telles que la photoluminescence et la spectroscopie Raman, pour analyser la composition chimique et la structure cristalline des plaquettes. Ces techniques fournissent des informations précieuses sur les propriétés des matériaux, les concentrations de dopants et les défauts structurels présents dans les plaquettes, qui sont essentiels pour évaluer la qualité et la fiabilité des dispositifs semi-conducteurs fabriqués sur ces dernières. L'actif peut effectuer des mesures rapides et sensibles pour détecter des variations subtiles dans la composition et la structure des plaquettes, permettant aux fabricants d'optimiser leurs processus pour de meilleures performances et rendement. Par ailleurs, ADE/KLA/TENCOR CR81e intègre des outils de métrologie avancés, tels que la microscopie à force atomique (AFM) et l'ellipsométrie, pour mesurer les dimensions physiques et les propriétés optiques des plaquettes avec une précision à l'échelle nanométrique. Ces outils permettent aux utilisateurs de caractériser la rugosité superficielle, l'épaisseur du film et l'indice de réfraction des plaquettes, indispensables pour contrôler les procédés de dépôt et de gravure des couches dans la fabrication des semi-conducteurs. Le modèle peut générer des cartes 2D et 3D détaillées des propriétés de la plaquette, fournissant des informations précieuses sur les variations de processus et les défauts qui peuvent affecter les performances de l'appareil. Dans l'ensemble, l'ADE CR81e est un équipement complet d'essai de plaquettes et de métrologie qui offre un large éventail de capacités aux fabricants de semi-conducteurs pour évaluer la qualité et la fiabilité de leurs plaquettes. Ses technologies avancées d'imagerie, de spectroscopie et de métrologie permettent une caractérisation précise des propriétés des plaquettes, contribuant à optimiser les processus de fabrication, à améliorer les performances des dispositifs et à augmenter le rendement de la production de semi-conducteurs. KLA CR81e est un outil puissant pour le contrôle de la qualité et l'optimisation des processus dans la fabrication de semi-conducteurs, ce qui en fait un atout indispensable pour assurer le succès des dispositifs semi-conducteurs avancés sur le marché.
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