Occasion ADE / KLA / TENCOR MicRhoSense 6035 #9301390 à vendre en France
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ADE/KLA/TENCOR MicRhoSense 6035 est un puissant équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour permettre le contrôle des processus dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Le système permet de détecter et d'analyser rapidement les défauts sur les plaquettes, tout en fournissant une analyse en grains fins de la taille des caractéristiques sur les couches de procédé, que ce soit pendant le dépôt ou plus tard dans le processus de fabrication. L'unité se compose d'un microscope optique automatisé spécialisé (AOM) qui fournit la capture d'images et des mesures manuelles avec jusqu'à 10x-100x zoom capacités et une variété de filtres pour différentes couches. Une machine auto-focus avancée est capable de se concentrer sur les couches à moins de 1 um de la surface et l'outil peut manipuler des tailles de plaquettes allant de 1 «, 2 », 3 «, à 12 ». L'interface utilisateur de l'actif est très intuitive et facile à utiliser. Le logiciel offre une configuration facile pour des mesures automatisées telles que la taille des fonctionnalités, la densité des défauts, la superposition et le CD sur plusieurs matrices ou couches ainsi que la classification des défauts par type. La nature programmable du logiciel permet également la collecte et l'analyse personnalisées de données de traces, les corrections d'impédance de défauts et l'algorithme avancé. Le modèle dispose également d'une station d'examen des défauts, qui permet une analyse plus détaillée des défauts à l'aide de contours 3D et de mesures de superposition. De plus, l'analyse SmartRing peut être utilisée pour comparer les pratiques de processus, dépanner les résultats et prendre des mesures correctives. En résumé, l'ADE MicRhoSense 6035 offre une plate-forme puissante pour les essais de plaquettes et la métrologie. Les capacités avancées d'auto-focus, de classification des défauts et d'analyse des données de traces permettent la détection rapide et précise des défauts et l'examen des couches de processus. Avec son interface utilisateur intuitive et ses puissantes capacités d'examen des défauts, l'équipement assure un contrôle efficace et précis des processus.
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