Occasion ADE / KLA / TENCOR Microsense 6033T #9301384 à vendre en France
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ADE/KLA/TENCOR Microsense 6033T est un équipement d'essai et de métrologie utilisé pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un système automatisé très précis capable de mesurer les largeurs des lignes fines et les défauts des plaquettes avec une résolution nanométrique. ADE Microsense 6033T est une plateforme de métrologie intégrée composée de plusieurs composants. Il est doté d'un interféromètre à lumière blanche Hexa-LEXSR de pointe, d'une cartographie et d'un prober entièrement automatisés et d'un visionneur en angle 3D amélioré. Il utilise un contrôle de mouvement robotique de précision, des codeurs submicroniques et un microscope stéréo zoomique à faible bruit. Cette combinaison de caractéristiques permet de détecter et d'analyser efficacement les défauts isolés et paramétriques au niveau microscopique. L'unité fonctionne sur un processeur Intel rack-mount contrôlant l'automate gaufre mapper et prober. Il est équipé d'un contrôleur logique programmable (PLC) dans le circuit, et d'un servomoteur DC de précision pour la commande précise du moteur. Pour mesurer correctement la plaquette, la machine utilise l'interféromètre Hexa-LEXSR et le viseur incliné 3D comme capteurs optiques. L'interféromètre en noir et blanc permet des mesures précises et peu bruyantes, tandis que le spectateur en angle 3D peut révéler des défauts cachés dans les différentes couches de la plaquette et permettre la capture des défauts paramétriques. Pour analyser les défauts des plaquettes, KLA Microsense 6033T utilise cinq algorithmes différents : un algorithme de mise au point qui localise les défauts de surface ; quatre algorithmes de traitement d'images pour détecter les défauts ; et un algorithme de détection des bords pour analyser les défauts des grains fins. La série de cartes d'acquisition de données embarquées permet à l'outil d'accumuler une grande quantité d'informations avec une grande rapidité et précision, ainsi que de repérer les emplacements des défauts. Microsense 6033T est un appareil puissant largement utilisé pour mesurer les défauts des plaquettes. Grâce à sa conception polyvalente et à ses outils de haute précision, cet atout est en mesure de fournir une analyse précise et fiable des plaquettes et de maximiser la productivité des processus et la précision des rendements pour l'industrie des semi-conducteurs.
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