Occasion ADE / KLA / TENCOR Ultragage 9500 #9182331 à vendre en France

ADE/KLA/TENCOR Ultragage 9500 est un équipement complet d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est capable de tester et de mesurer des films minces jusqu'à 0,5 mm d'épaisseur, se compose de deux systèmes d'imagerie, et peut recueillir des données avec un balayage 3D sans contact de haute précision. Il est particulièrement réputé pour sa capacité à représenter des surfaces brillantes ou réfléchissantes avec une précision et une résolution maximales. Le système peut effectuer un large éventail d'essais, y compris la caractérisation électrique, l'analyse des défauts électriques et le suivi des défauts, et peut également être utilisé pour identifier la contamination présente dans la plaquette. ADE Ultragage 9500 dispose d'une unité optique entièrement automatisée avec foyer motorisé, de moteurs pas à pas pour le mouvement X, Y et Z, et d'une interface utilisateur graphique (UI) qui fournit aux utilisateurs une vue interactive de la plaquette et des mesures effectuées. Il peut mesurer les épaisseurs de film à haute résolution avec une résolution de 1 nanomètre, et peut mesurer avec précision les défauts de micro-bords en lignes de 1,4 micron avec une précision répétable. De plus, il peut obtenir des résultats de mesure en plein champ pour des mesures de balayage et non de balayage, ce qui permet une caractérisation en profondeur des plaquettes. KLA Ultragage 9500 dispose également d'une capacité de topographie 3D entièrement automatisée, permettant de mesurer des caractéristiques élevées jusqu'à 100 nanomètres de taille. Il est équipé d'outils automatisés de détection et d'analyse des défauts, permettant d'inspecter les défauts isolés en un seul point et les schémas d'alignement. De plus, il dispose d'une fonction semi-automatisée d'analyse d'image (SMIA) qui peut être utilisée pour identifier les dendrites critiques, les surpopulations latérales parasites et d'autres défauts, fournissant aux utilisateurs la détection et l'analyse les plus approfondies des caractéristiques des plaquettes. En outre, Ultragage 9500 peut être configuré pour la production en ligne et les applications de R&D des machines, offrant des capacités de diagnostic et de traitement en service avancées. Il s'agit d'un moyen rentable de réaliser des essais et des mesures exhaustifs des plaquettes et, à ce titre, il est applicable à de nombreux procédés semi-conducteurs avancés.