Occasion ADE / KLA / TENCOR UltraGage 9520 #9245050 à vendre en France
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ID: 9245050
Dimensional measurement system
ASC200 Controller included
Thickness: ± 1.00µ
Shape (Bow / Warp):
±( 3.00 + 5% of reading) µm
±( 4.00 + 5% of reading) µm
Global flatness: ± 0.50 µm
Integral wafer centering and pre-aligner
Backside contacting chuck
Vacuum chuck diameters:
Small (23.3 mm): 3", 100 mm -150 mm wafers
Large (33.4 mm): 125 mm- 200 mm wafers
Wafer contact materials:
Resting pads: Santoprene
Vacuum chuck: Polyurethane
Nominal wafer thickness range: 250 µm - 750 µm
Auto-loader:
Single / Dual cassette
Sorting: Slot-to-slot / Cassette-to-cassette
Backside contact, horizontal cassette orientation
Wafer contact material: Teflon
Nominal wafer thickness range: 250 µm - 750 µm
Conductivity type: P / N
Edge exclusion:
Thickness: 3 mm / 5 mm
Shape: 3 mm
Nominal wafer thickness: 250 µm - 750 µm
Resistivity: > 0.1-200 Ω cm
Edge gradient: 0.1 µm/mm
Power supply:
Temperature range: 12.7°- 29.4° C (55° - 85° F)
Relative humidity: 55 to 95% non-condensing
Vacuum: 0.6 SCFM, 635 mm (25") Hg ± 10%
Peak usage: 2.8 kVA
Voltage: 100/120/200/208/220/230/240 VAC ± 10%
50/60 Hz, Single phase.
ADE/KLA/TENCOR UltraGage 9520 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes très sophistiqué qui établit la référence de l'industrie pour les solutions de métrologie automatisée avancées. Ce système de pointe allie une technologie de précision, des fonctionnalités de conception innovantes et des capacités logicielles robustes pour offrir une précision, une répétabilité et une efficacité inégalées dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. Au cœur de l'ADE UltraGage 9520 se trouve sa technologie de mesure avancée, qui exploite des algorithmes propriétaires et des systèmes de capteurs pour atteindre une résolution sous-nanométrique et une précision exceptionnelle dans les tâches critiques de mesure des plaquettes. L'unité est équipée d'une machine d'inspection optique haute résolution, de capteurs de déplacement laser, de capteurs de capacité et d'autres capteurs de pointe pour capturer avec précision la topographie, l'épaisseur, l'uniformité du film et les données de détection de défauts avec une précision et une fiabilité inégalées. Une des caractéristiques clés qui distingue KLA 9520 UltraGage est sa conception polyvalente et modulaire, qui permet une intégration transparente dans les lignes de production de plaquettes existantes et une personnalisation adaptable en fonction des exigences de fabrication spécifiques. L'outil offre une gamme de configurations de manutention des plaquettes, y compris les modes de traitement des plaquettes et des lots, ainsi que la compatibilité avec diverses tailles de plaquettes, matériaux et technologies de processus, ce qui en fait une solution polyvalente pour les environnements de R&D et de production à haut volume. L'interface utilisateur intuitive d'UltraGage 9520 et la puissante plate-forme logicielle offrent aux utilisateurs des outils d'analyse de données avancés, des capacités de visualisation et des fonctions de surveillance en temps réel pour rationaliser le processus d'inspection et de métrologie. L'actif peut générer des cartes de plaquettes complètes, des images topographiques 3D et des rapports d'analyse statistique pour faciliter l'optimisation des processus, l'analyse des causes profondes des défauts et les initiatives de contrôle de la qualité dans la fabrication de semi-conducteurs. En plus de ses capacités de mesure avancées, le 9520 UltraGage est conçu pour un débit élevé et une efficacité opérationnelle, avec des taux d'acquisition de données rapides, un chargement et un déchargement rapides des plaquettes, et des routines de mesure automatisées pour minimiser les temps d'arrêt et maximiser la productivité dans un environnement de production. Le modèle est conçu pour répondre aux exigences strictes de la fabrication moderne de semi-conducteurs, offrant des performances robustes, la fiabilité et la facilité d'entretien pour assurer l'excellence opérationnelle et la valeur à long terme pour les clients. Dans l'ensemble, TENCOR UltraGage 9520 représente une solution à la pointe de la technologie pour les besoins d'essai et de métrologie des plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs, combinant une technologie de mesure de précision, des caractéristiques de conception polyvalentes et des capacités logicielles puissantes pour permettre un contrôle supérieur des processus, une optimisation des rendements et une assurance de la qualité dans les procédés avancés de fabrication des semi-conducteurs. Avec sa précision, sa fiabilité et son efficacité exceptionnelles, KLA UltraGage 9520 est un outil de confiance pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à atteindre les normes les plus élevées de qualité, de performance et d'innovation dans la production de plaquettes.
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