Occasion ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9036357 à vendre en France
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ID: 9036357
Wafer inspection system
(2) Send stations
(3) Receive stations
No E-Station
Pre-aligner station
Hi Res station
Lo Res station
Typing station: Contact style
Single End Effector Robot
ASC Computer / controller
Backup software tapes and hard drive
Electronic rack with power supply
ADE 350 Robot control
Light curtain
Single / Dual end effector robot.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300 est un équipement d'essai et de métrologie permettant aux ingénieurs de mesurer les performances des circuits intégrés pendant le processus de production. Il est utilisé pour détecter les non-conformités dans les puces et les sous-systèmes, pendant le processus d'édition rétrospective, en utilisant des métriques complexes telles que les techniques de mesure optoélectronique, l'imagerie par défaut et l'analyse granulométrique. Le système fournit jusqu'à trois modalités d'imagerie synchronisées : diffusion laser (LS), champ sombre (DF), et champ lumineux (BF), permettant l'identification visuelle précise des défauts et la classification automatique précise des défauts. La reconnaissance des défauts est facilitée par de puissants algorithmes de programmation qui permettent d'identifier les défauts linéaires, vectoriels et de niveau de puce. L'ADE UltraScan 9300 est également équipé d'un PC embarqué pour la gestion des données des plaquettes et d'algorithmes avancés de rétroaction unitaire pour la vérification de l'exactitude des données. Son matériel est intégré dans une plate-forme de mesure robotique à 4 axes pour améliorer la cohérence entre plaquettes et réduire les fausses alarmes. Il dispose d'un filtre de polarisation à étage supérieur et d'un détecteur de diffusion de la lumière, tous deux dotés de centres passe-bande adaptables pour des mesures précises. En termes de fonctionnement, la machine prend en compte la mesure primaire, comme la diffusion laser (LS) ou le champ sombre (DF), et évalue plusieurs paramètres dont le contraste, la résolution, le bruit, le bruit de fond et l'uniformité. Il convertit ensuite les données mesurées en mesures de performance utiles, avec capture et analyse de données dans les domaines de l'intensité linéaire, de l'intensité vectorielle et de l'uniformité die-to-die. L'outil comprend également des aspects du logiciel de Smartyield, qui permet de retracer les défauts individuels sur la puce et d'identifier ultérieurement les composants électriques affectés. Cela permet aux ingénieurs d'isoler rapidement et précisément les non-conformités et de les ajuster en conséquence. En résumé, KLA ULTRA SCAN 9300 est un outil avancé de test et de métrologie de plaquettes offrant des capacités de mesure précises avec de multiples modalités d'imagerie, de nombreuses méthodes d'analyse de données, et un PC embarqué puissant pour améliorer la gestion des données et la surveillance de la rétroaction. Il peut retracer les défauts individuels et isoler les non-conformités, permettant aux ingénieurs de traiter les problèmes rapidement et efficacement.
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