Occasion ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9241348 à vendre en France
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ID: 9241348
Wafer inspection system
E+ Station
Pre-aligner station
(2) Send cassettes
Single end effector robot
ASC System controller
Options:
(3) Receive cassettes
Dual high / Low res station
Light curtain
Dual end effector robot
Wafer typing
ASC 2000 System controller.
ADE/KLA/TENCOR L'équipement UltraScan 9300 est une solution puissante et polyvalente pour les essais de plaquettes et la métrologie. Il permet aux fabricants de suivre plus efficacement les défauts dans leurs plaquettes, ce qui permet un meilleur contrôle des procédés et une meilleure gestion des rendements dans la fabrication des semi-conducteurs. Le système offre un balayage et une analyse rapides des plaquettes en format 2D et 3D, à des résolutions allant jusqu'à 1,35 µm. Il est équipé de microscopes optiques 10x et 4x, tous deux dotés de capacités de traitement d'image avancées. Un contrôleur automatique d'étage de microscope permet un positionnement précis avec X-Y, un mouvement d'axe Z et un profil d'étalonnage intégré. Outre la cartographie de précision des plaquettes, ADE UltraScan 9300 offre également une détection automatisée des défauts, permettant une analyse plus rapide et plus précise des défauts. L'optique de l'unité est réglée pour optimiser l'acquisition d'image dans différentes conditions. Son laser de grande puissance et ses capteurs ont la capacité de mesurer à la fois la transmission de la lumière vers l'avant et la transmission réfléchie, ce qui le rend bien adapté aux mesures d'épaisseur des plaquettes et à l'analyse isolée des particules. La machine peut également surveiller des paramètres critiques tels que la résistance de contact, la couverture de soudure de recharge, la rugosité de surface et l'épaisseur de la couche diélectrique. Son interface logicielle intuitive fournit un ensemble puissant de fonctionnalités pour le test des plaquettes et la métrologie. Il s'agit notamment de l'imagerie 3D et multi-tranches, de filtres puissants de segmentation d'images, du traitement automatisé des résultats et d'une suite d'outils d'étalonnage post-processus pour la mesure précise et l'analyse des défauts. Le logiciel propose également des options d'exportation personnalisées pour les données, les images et les rapports. KLA ULTRA SCAN 9300 est facile à installer et à entretenir, et est conçu pour minimiser les temps d'arrêt. Sa conception robuste est certifiée pour le fonctionnement en salle blanche et est construite pour résister aux conditions environnementales, y compris les vibrations et les chocs. Dans l'ensemble, l'ADE/KLA/TENCOR ULTRA SCAN 9300 est un outil fiable, à haute vitesse, de test de plaquettes de haute précision et de métrologie conçu pour fournir des résultats fiables et reproductibles. Avec son ensemble d'outils et de fonctionnalités automatisés et intuitifs, il peut aider à améliorer le contrôle des processus et la gestion des rendements dans la fabrication de semi-conducteurs.
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