Occasion ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9300 #9281937 à vendre en France
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ID: 9281937
Taille de la plaquette: 4"-8"
Wafer inspection system, 4"-8"
E Station for flatness / Thickness / Bow / Warp measurement
Hi-Res probe for high resistivity measurement
ASC 2000 Controller
ARM350 Robot controller
(5) Cassette stations:
(2) Receiver
(3) Sender.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9300 Wafer Testing and Metrology Equipment est un instrument de métrologie haute performance, sans contact et multicouche conçu pour le développement avancé des semi-conducteurs, offrant des performances et une précision inégalées. L'architecture brevetée de l'instrument permet la capture automatisée d'images ultra-haute résolution jusqu'à 9300 matrices contiguës sur une plaquette en quelques minutes et sous de multiples angles. Le système d'imagerie utilise un réseau de LED pour éclairer activement la surface de la plaquette sous quatre angles. Cet éclairage assure la visibilité de toutes les caractéristiques de la filière et améliore le contraste des structures. La combinaison de cet éclairage et d'une optique propriétaire permet de former des images avec une résolution efficace de 0,63 μ m par pixel. Une fois collectées, les données d'image brutes sont traitées à l'aide d'une suite intégrée d'algorithmes avancés pour mesurer divers paramètres tels que l'emplacement de la matrice, la taille et la forme, les propriétés électriques, le rendement au niveau de l'appareil et la défectivité. La précision des mesures est assurée par le traitement statistique des images répétées et des capacités avancées de test non destructif qui permettent une métrologie orientée vers la fonction. Il intègre également un environnement d'analyse intégrée pour l'examen des résultats et la visualisation efficace des données. En plus de l'imagerie et de l'analyse des processus, l'ADE UltraScan 9300 comprend des outils de gestion des données de haut niveau pour faciliter la coordination et l'archivage des résultats de mesure. La machine peut être programmée pour l'exécution automatique de mesures et peut interagir avec plusieurs systèmes d'automatisation de laboratoire. Cette capacité permet la collecte de données à n'importe quelle fréquence à partir d'une seule plaquette jusqu'au réticule complet. KLA ULTRA SCAN 9300 offre une combinaison passionnante de capacités d'imagerie, d'analyse et de gestion des résultats, ce qui en fait l'outil idéal pour les essais de plaquettes industrielles et de recherche et la métrologie. La grande surface couverte et les capacités de haute résolution garantissent que toutes les caractéristiques de la plaquette peuvent être caractérisées avec précision. Avec sa fonctionnalité de gestion de données de haut niveau, TENCOR UltraScan 9300 permet de stocker et de récupérer efficacement les mesures sur de longues périodes, ce qui en fait un outil de recherche inestimable.
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