Occasion ADE / KLA / TENCOR WaferSight #9235753 à vendre en France
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ADE/KLA/TENCOR WaferSight est un système d'essai et de métrologie en ligne avancé basé sur la technologie brevetée d'interférométrie de la lumière blanche (WLI). ADE WaferSight est une solution d'essai de wafer non destructive rentable capable de mesurer tous les types de surfaces - des caractéristiques macro aux profondeurs nanométriques. La conception innovante du système permet de réduire les temps de cycle et d'améliorer le contrôle de la qualité, offrant des capacités de détection et de caractérisation des défauts au niveau de la plaquette. La configuration automatisée de KLA WaferSight lui permet de s'adapter rapidement à des wafers de tailles, de matériaux et de géométries très variés, permettant une caractérisation plus rapide des défauts de processus et des phénomènes globaux. De plus, il offre des tests en ligne pour les valeurs statistiques et les valeurs min/max - des mesures internes aux mesures transversales. L'optique intégrée de WaferSight permet des mesures 3D de haute précision de la surface de la plaquette. L'optique permet également l'application de tracés variables sur une surface donnée, permettant de détecter des non-uniformités et une caractérisation détaillée de la surface. Il en résulte une meilleure détection et analyse des défauts au niveau de la plaquette, ainsi qu'une mesure précise de la topographie en 3D et en profil. En utilisant la diffraction optique, TENCOR WaferSight peut également mesurer la surface et les caractéristiques de CD, la largeur et la planéité. De plus, ADE/KLA/TENCOR WaferSight peut être utilisé à des fins analytiques telles que la métrologie des superpositions, l'analyse des profils de défauts et la surveillance de l'uniformité des processus. Le logiciel d'ADE WaferSight peut être personnalisé pour répondre aux besoins des clients, offrant une intégration complète avec le logiciel de contrôle des processus et l'intégration à l'automatisation. Les options de visualisation et de rapport sont disponibles dans un navigateur Web en temps réel, au format PDF, ou via un générateur de rapport externe, tandis qu'une foule de techniques d'analyse de données sont disponibles pour optimiser davantage les données. En résumé, KLA WaferSight est un système d'essai et de métrologie de plaquettes en ligne offrant des mesures rapides et fiables qui conviennent à la caractérisation détaillée de la surface, aux mesures précises de topographie 3D et de profil et au contrôle des processus. Il est également personnalisable et offre des performances rentables, ce qui en fait un choix idéal pour la surveillance des processus et la détection des défauts dans la fabrication de semi-conducteurs.
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