Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9121584 à vendre en France
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ID: 9121584
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD SEM), 12"
Install type: Stand alone
(3) Cassette interface: FOUP, 12"
Roll-around ergo station with touch screen
Status lamp
Options:
Slope reconstruction
CH analysis
Profile grade
Discrete inspection
Defect review
ARAMS (ES8)
CE Marked
Power requirements: 120/208 V, 8 A, Single phase / 3 Phase, 5-Wire, 50/60 Hz
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie intégrant une technologie clé pour la surveillance nanométrique et le contrôle des processus. AMAT NANOSEM 3D permet une mesure précise des motifs jusqu'à < 10 nm et une imagerie 3D précise à l'échelle nanométrique sur de grandes surfaces. Il est utilisé pour évaluer une variété de matériaux et de procédés, y compris le traitement, la métrologie et l'analyse des défauts dans un large éventail d'applications de semi-conducteurs, d'optoélectroniques et de nanomatériaux. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le système NANOSEM 3D combine la lithographie brevetée/analyse de dégradation des lignes (LDA) avec la microscopie électronique embarquée (EM) tomographie et les outils automatisés d'analyse des matériaux. L'unité fournit des images complètes du champ de vision 3D (FOV) qui révèlent des détails précis des structures 2D et 3D, ainsi que des mesures de rugosité des bords de ligne (LER). La technologie LDA offre des capacités avancées et automatisées de détection de la rugosité des bords et peut détecter, quantifier et caractériser des caractéristiques paires jusqu'à quelques nanomètres. Les systèmes NANOSEM 3D disposent d'une capacité de capture d'image entièrement automatisée, de hautes performances de débit et de visualisation en temps réel des données. La machine comprend une interface utilisateur facile à utiliser avec des assistants et des guides qui permettent un fonctionnement efficace et pratique. Il dispose également d'un large éventail de fonctionnalités avancées, y compris le fonctionnement à distance et local, les images haute résolution, l'imagerie 4-D, et des outils d'analyse spécialisés. AMAT/APPLIED MATERIALS L'outil NANOSEM 3D est conçu pour optimiser le flux de processus et réduire le temps d'analyse tout en fournissant des données détaillées de haute qualité. La plate-forme intégrée permet l'analyse de grandes surfaces de motifs sur une profondeur de balayage étendue, permettant une vision complète des structures 3D de manière intégrée. De plus, l'actif permet une analyse précise des données collectées lors de l'opération de test et fournit une résolution d'image précise à chaque étape. Les systèmes AMAT NANOSEM 3D sont adaptés à diverses applications, telles que la métrologie et le contrôle de processus assisté par métrologie, la détection et l'analyse des défauts, les mesures de rugosité des bords de ligne et les mesures de largeur de ligne. Ce modèle est idéal pour les procédés de production de semi-conducteurs, d'optoélectroniques et de nanomatériaux. En outre, l'équipement est bien adapté pour des solutions personnalisées pour des applications spécifiques. MATÉRIAUX APPLIQUÉS NANOSEM 3D fournit des solutions de pointe pour des informations d'essai précises et fiables.
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