Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9280517 à vendre en France
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ID: 9280517
Automated CD metrology system, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer cassette: PP Miraial, 8"
No SMIF Interface
Electron optical system:
Electron gun SCHOTTKY emission source (FEI)
Accelerating voltage: 300 V - 2,000 V
3-Stage Electromagnetic lenses
System with boosting voltage beam deflector module
Objective lens:
Scan coil 2-stage: Electromagnetic deflection (X-axis & Y-axis)
Magnification: 1,000x - 400,000x (100um - 0.25um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Aspect ratio: >20 : 1
Tilt function: 15° (4 Directions)
Resolution: 2nm (500V)
Optical microscope system:
Camera monochrome: CCD Camera
Magnification: 16x / 220x (450 um / 6000 um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Workstation:
Model: SGI Octane
OS: Unix
SECS / GEM Communication interface:
Automated image archiving function / Online setup
Measurement function: Contact hole
Line edge analysis / CH Analysis / Slope
Measurement algorithm normal / Foot / Threshold
Wafer stage:
Wafer stage Anorad XY and Z Stage
Moving speed: 300 mm/sec
Function target faraday cup / Resolution target
Wafer transfer:
Wafer shape ability notch / Orientation flat
Pre-alignment sensing by CCD BAR (200/300 mm wafer)
External power distribution unit
Fun filter unit
Prober current:
Low 5pA
Medium 10pA
High 20pA.
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes de haute technologie conçu pour fournir une précision inégalée dans la caractérisation des dispositifs de nanotechnologie. AMAT NANOSEM 3D utilise des techniques de pointe, telles que la lithographie standard à faisceau d'électrons, l'imagerie 3D et une mesure sans contact et sans uniformité pour permettre des tests plus rapides et plus précis. Le système dispose d'un faisceau multi-vitesse pour un contrôle de position constant et un éclairage stable, offrant des images de haute qualité avec une précision et une répétabilité élevées. MATÉRIAUX APPLIQUÉS NANOSEM 3D utilise des algorithmes avancés de reconnaissance de motifs pour identifier les paramètres critiques des circuits. Les algorithmes spécialisés analysent les bords des fonctions, y compris les bords près des zones de contact, et peuvent identifier avec précision l'orientation des fonctions même si elle est inversée. Cela améliore les performances du circuit et rend les temps de test et de mesure plus précis et plus efficaces. Une unité de mesure de haute précision, sans contact, sans uniformité est incluse dans NANOSEM 3D pour assurer l'uniformité des caractéristiques à l'échelle nanométrique. La machine dispose d'une combinaison de balayage vertical et latéral pour la caractérisation C-V, ainsi que de capacités de canaux multiples qui peuvent être facilement personnalisés pour diverses structures de plaquettes. Afin de réduire le bruit aérien lors des essais, AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D comprend un outil unique de détection et d'isolation du bruit. L'actif utilise des algorithmes avancés de reconnaissance de motifs pour identifier différents bruits, y compris thermiques et électriques. Grâce à cette fonctionnalité, les utilisateurs peuvent rapidement détecter et isoler les problèmes liés au bruit qui peuvent survenir. AMAT NANOSEM 3D est robuste et personnalisable pour les besoins de n'importe quel environnement de production. Avec sa conception modulaire, le modèle peut être configuré pour répondre aux exigences de n'importe quel utilisateur, et peut rapidement et facilement être modifié pour intégrer de nouvelles applications. MATÉRIAUX APPLIQUÉS NANOSEM 3D est un équipement complet d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour fournir une analyse avancée des dispositifs nanotechnologiques. Sa technologie de pointe permet des tests rapides, précis et reproductibles avec une précision inégalée. NANOSEM 3D est sûr de révolutionner le monde de la nanotechnologie.
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