Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9390681 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D
ID: 9390681
Critical Dimension Scanning Electron Microscopes (CD-SEM).
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour fournir des capacités complètes de production de lithographie et d'analyse des pannes. Il est équipé d'une variété de fonctionnalités et de capacités qui permettent aux utilisateurs de caractériser avec précision et efficacité les structures à un et à plusieurs niveaux sur les substrats semi-conducteurs, y compris les structures frontales et d'interconnexion. AMAT NANOSEM 3D dispose d'une étape de nanomanipulation multiprobe pour le balayage automatisé de plusieurs sondes à grande vitesse, et d'un système de capture d'image numérique haute résolution pour des mesures et analyses précises. L'unité est capable de capturer des images jusqu'à 1024 X 1024 pixels en deux et trois dimensions (3D), ce qui le rend idéal pour les clients qui ont besoin d'évaluer les écarts de minuteness, les différences d'épaisseur et de dépôts de matériaux, et la topographie structurelle du substrat. La machine est construite avec une gamme d'options logicielles, y compris Optical Tool Kit, qui fournit des outils automatisés de pré et post-traitement des fichiers de données, ainsi que le soutien logiciel pour l'importation et l'exportation directe de données, ce qui facilite l'analyse des données de test. Par ailleurs, l'outil s'intègre à divers progiciels, tels que le Logiciel de Manipulation Nanoprobe de Balayage (SNMS) qui permet à l'utilisateur de naviguer avec précision dans une sonde de balayage vers le substrat donné. MATÉRIAUX APPLIQUÉS NANOSEM 3D dispose également de systèmes intégrés de surveillance et de contrôle des processus pour une surveillance efficace de la production et de l'enregistrement des données, ainsi que d'un contrôle thermique sur les substrats sensibles à la température pour assurer un processus de plaquette stable. De plus, l'actif dispose d'un actionneur mécanique pour le mouvement X/Y et d'un moniteur pour le contrôle en boucle fermée des vitesses d'inclinaison et de balayage. En outre, NANOSEM 3D peut être appliqué à une grande variété de processus, y compris la gravure de tranchées profondes, CMP, métrologie métallique, et diélectrique haute densité. Il est conçu pour fournir la précision et la répétabilité nécessaires pour maintenir le contrôle de la qualité des étapes critiques du processus et des normes de qualité.
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