Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM 3D #9138846 à vendre en France
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Vendu
ID: 9138846
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Automated CD metrology system, 8"
Open cassette
Wafer shape: Semi notch no flat (SNNF)
Wafer cassette: PP Miraial, 8"
Objective lens:
Scan coil 2-stage electromagnetic deflection (X- and Y-Axes)
Magnification: 1,000x to 400,000x (100um to 0.25um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Aspect ratio >14 : 1
Tilt function 5 degrees (4 Direction)
Resolution: 3nm (500V)
Optical microscope system:
Camera monochrome: CCD Camera
Magnification: 16x / 220 x (450 um / 6000 um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Wafer stage:
Wafer stage Anorad XY and Z Stage
Moving speed: 300 mm/sec
Function target faraday cup / Resolution target
Wafer transfer:
Wafer shape ability notch / Orientation flat
Pre-alignment sensing by CCD BAR (8")
External power distribution unit
Fun filter unit
Electron optical system:
Electron gun SCHOTTKY Emission source (FEI)
Accelerating voltage: 300V to 2,000V
Electromagnetic lens 3 stage electromagnetic lens
System with boosting voltage beam deflector module
Probe current:
Low: 5 pA
Medium: 10 pA
High: 20 pA
2001 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS VeraSEM 3D est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie. Ce système permet d'analyser avec précision toute une gamme de procédés de production de plaquettes, y compris le dépôt, la gravure, la lithographie et le traitement des masques. AMAT VeraSEM 3D propose une gamme d'instruments puissants, y compris la microscopie électronique et la microscopie optique autonome. MATÉRIAUX APPLIQUÉS VeraSEM 3D est une unité haute performance offrant une multitude de fonctionnalités et d'avantages pour répondre aux besoins des environnements de production et de recherche et développement. Le principal outil utilisé dans la machine est le microscope électronique, qui permet à l'utilisateur de mesurer avec précision les caractéristiques d'une plaquette et de préparer une carte topographique complète de l'échantillon. Cette carte permet de détecter les défauts, la sous-structure et la composition des couches déposées. Le microscope permet également une analyse approfondie de la structure interne de la plaquette, avec des mesures de plus de 50 paramètres de surface disponibles. D'autres caractéristiques du microscope électronique comprennent l'analyse automatisée des particules et les capacités d'imagerie avancées. L'instrument secondaire utilisé dans VeraSEM 3D est un microscope optique autonome, qui utilise une gamme de technologies optiques pour mesurer avec précision la profondeur et les caractéristiques de la structure de surface. Cet outil est très polyvalent et est capable de mesurer une large gamme de dimensions de caractéristiques sur une gamme de substrats de plaquettes. Le microscope est également capable de mesurer la distribution des différents types de contaminants présents à la surface de la plaquette. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS L'actif VeraSEM 3D intègre également une gamme d'outils avancés d'acquisition et d'analyse de données. Ces outils permettent une automatisation précise des processus de test et de métrologie des plaquettes. Ce modèle peut également être interfacé avec d'autres systèmes ou logiciels, permettant aux utilisateurs d'accéder à une multitude de données provenant de diverses sources. AMAT VeraSEM 3D est un équipement de pointe qui permet aux utilisateurs de tester et de mesurer avec précision de nombreux aspects de la production de plaquettes. Sa gamme de caractéristiques et ses instruments puissants garantissent que ce système est un atout précieux pour tout environnement de recherche et développement ou de production.
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