Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS VeraSEM #9196915 à vendre en France
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ID: 9196915
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
3D Scanning electron microscope (SEM), 8"
Wafer shape: SNNF
PP Miraial, 8"
No SMIF interface
Electron optical system:
Electron gun: Schottky emission source (FEI)
Accelerating voltage: 300V - 2000V
Probe current:
Low: 5pA
Medium: 10pA
High: 20pA
Electromagnetic lens: 3 Stages electromagnetic lens
Boosting voltage: Beam deflector module
Objective lens
Scan coil: 2 Stages electromagnetic deflection (X & Y-axes)
Magnification: 1,000x to 400,000x (100µm to 0.25µm FOV)
Wafer imaging ability: Entire surface of 8" (or 12") wafer
Asspect ratio: >14:1
Tilt function: 5 Degrees (4 Directions)
Resolution: 3nm (500V)
Optical microscope system:
COHU CCD Camera: Monochrome
Magnification: 16x / 220x (450µm / 6000µm FOV)
Wafer imaging ability: Entire surface of 8" (or 12") wafer
Workstation:
Model: SGI Octane
OS: Unix
HDD Capacity: 73 GB
Memory: 1024 MB
SECS/GEM Communication interface
Wafer stages: ANORAD X,Y & Z Stages
Moving speed: 300 mm/sec
Function target: Faraday cup / Resolution target
Wafer transfer:
Wafer shape ability: Notch / Orientation flat
Pre-alignment: Sensing by CCD bar (200/300 mm wafer)
External power distribution unit
Fun filter unit
Uninterruptible power supply: POWERWARE+Plus 18/18
Dry pump load lock: EBARA AA20
Dry pump chamber: EBARA A10S
2000 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS VeraSEM est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie qui fournit le plus haut niveau de précision, de précision et de débit. La plateforme robuste, flexible et puissante d'AMAT VeraSEM permet des solutions intégrées pour améliorer la qualité, la productivité et le rendement des tests de plaquettes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS VeraSEM est un système intégré qui se compose de quatre composants principaux : le scanner et l'étage d'échantillonnage, une unité d'inspection avancée des plaquettes, une machine d'inspection optique et de détection de focalisation, et un outil laser. Le scanner et l'étape d'échantillonnage de VeraSEM sont conçus pour fournir un balayage et un positionnement d'échantillon précis et reproductibles afin d'assurer une efficacité d'essai maximale. L'actif dispose d'une excellente répétabilité et stabilité, préservant les mêmes positions d'analyse et d'échantillonnage pour de multiples opérations. Le modèle avancé d'inspection des plaquettes d'AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS VeraSEM utilise des sources lumineuses avancées, des filtres spécialisés et des capteurs pour identifier rapidement les points faibles, les bulles, les rayures et d'autres défauts dans la plaquette. L'équipement peut également mesurer avec précision l'épaisseur, la planéité et l'inclinaison des plaquettes. Le système d'inspection optique et de détection de focalisation permet des inspections de surface et de fond de haute précision pour détecter les problèmes qui peuvent avoir un impact sur le processus de production. Cette unité est également capable de mesurer et de suivre les petits défauts, fournissant une vue complète de l'état de la plaquette. Enfin, la machine laser est utilisée pour mesurer avec précision le profil des plaquettes, l'IPE, l'EPE et l'analyse de Zernike. Il fournit également des mesures précises pour détecter les particules, les fosses, et plus encore. AMAT VeraSEM est le choix idéal pour toute entreprise cherchant une solution tout-en-un pour tester, mesurer et inspecter une large gamme de tailles de plaquettes. Le balayage précis et reproductible de l'outil, l'inspection avancée des plaquettes, l'inspection optique et la détection de focalisation, et les systèmes laser en font un outil puissant pour l'essai des plaquettes et la métrologie.
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