Occasion AMRAY / KLA / TENCOR AIT I #9401208 à vendre en France

AMRAY / KLA / TENCOR AIT I
ID: 9401208
Taille de la plaquette: 8"
Double darkfield inspection system, 8" Interface: SECS II/GEM Communication Low contact chuck Multi channel collection optics system with spatial filters Wafer transfer area housing cover Wafer handling module High voltage electronics Front and rear EMO’s with covers Flat panel display X,Y Drive Controller chassis Motion controller card Blower box Mouse Pentium CPU Fold down keyboard tray Operating system: Windows NT.
KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I est un équipement automatisé d'essai et de métrologie des plaquettes conçu pour la production de volume et la surveillance active des dispositifs semi-conducteurs. Le système mesure les plaquettes semi-conductrices à l'aide d'une séquence entièrement automatisée comprenant la manipulation des porteurs de plaquettes, l'alignement des plaquettes, le placement des échantillons et l'acquisition de données de métrologie. L'unité comprend une station de métrologie avec un bras à double articulation, un chargeur et un déchargeur de porte-échantillons, une machine de vision et un moteur à broche pour effectuer un balayage de surface automatisé. Un mandrin de plaquette robuste et répétable aligne précisément les plaquettes avec le bras de métrologie pour assurer la précision et la répétabilité des mesures. Le bras de métrologie est capable de mouvements sous-microns de haute précision, permettant de mesurer de petits appareils et des bosses avec une extrême précision. KLA AIT I dispose d'une interface graphique graphique (interface graphique) conviviale. L'interface graphique fournit des informations en temps réel sur les processus, des fonctions de transmission avec contrôle statistique des processus et une analyse avancée des données pour la production et l'optimisation des processus. Il fournit également des outils complets d'ingénierie de processus et de wafer pour le développement de processus et l'ingénierie de processus. L'outil peut mesurer une variété de paramètres tels que la topographie de surface, la conduction électrique, le contraste d'image et la réflectivité. Il peut être utilisé pour prédire et dépanner des problèmes tels que des points chauds ou des échecs, surveiller l'épaisseur et la douceur du film, contrôler la rugosité et la courbure des structures, caractériser la résistivité et évaluer la défectivité dans les dispositifs semi-conducteurs. TENCOR AIT I est alimenté par une architecture logicielle et matérielle avancée qui fournit une capture et une analyse de données fiables. Son outil innovant de manutention des plaquettes garantit que les plaquettes sont chargées sur la station avec une répétabilité et une précision élevées. Grâce à son interface graphique tactile conviviale et à ses outils logiciels intégrés, les opérateurs peuvent facilement contrôler la machine et effectuer des mesures rapides et fiables. Le modèle est fiable et abordable et convient à une utilisation dans la fabrication de semi-conducteurs à haut volume. Il fournit des données de métrologie rapides et précises avec son équipement avancé de traitement d'image et de vision automatique. Les outils logiciels intégrés aident à identifier les tendances des processus et à améliorer le rendement des produits.
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