Occasion ASM Dragon 2300 #9294446 à vendre en France

ID: 9294446
PECVD System, 12" Used for barrier 2003 vintage.
ASM Dragon 2300 Wafer Testing and Metrology Equipment est une plate-forme polyvalente et puissante spécialement conçue pour créer un contrôle de processus axé sur l'avance. Le système utilise une combinaison de technologies d'inspection optique automatisée (IAO), de métrologie de la résistivité, de métrologie de la capacité diélectrique et de métrologie du profilage 3D pour saisir et analyser rapidement l'information détaillée sur les plaquettes. L'unité dispose d'un étage de plaquette motorisé avancé, permettant un alignement rapide et précis des plaquettes pour assurer des résultats précis. AOI sur Dragon 2300 utilise la technologie d'imagerie de champ lumineux pour détecter les défauts, tels que les motifs manquants ou endommagés, la contamination, les défauts de couche mince et les courts métrages. Des caractéristiques telles que la détection des bords peuvent aider à détecter les défauts fins qui peuvent être difficiles à détecter avec d'autres méthodes. La métrologie de résistivité utilise la résistance d'un motif pour obtenir des informations sur la surface latérale avant d'une plaquette. La métrologie de la capacité diélectrique peut mesurer rapidement la capacité d'un IC, et aider à identifier les raccourcis qui peuvent exister dans un circuit donné. Avec la métrologie de profilométrie 3D, la machine peut caractériser la topographie d'une plaquette à un niveau de résolution caractéristique de 10nm, qui peut être utilisé pour mesurer avec précision les caractéristiques fines non conductrices et les vides de moins de 3 microns. L'outil dispose également d'une multitude d'outils de traitement d'images qui permettent une analyse facile à utiliser des images, permettant des études de rendement et d'efficacité rapides. Ces outils permettent d'explorer divers paramètres de rendement et peuvent générer des cartes de contour pour une analyse complète des données. ASM Dragon 2300 peut être utilisé pour de nombreuses autres applications, telles que le collage de plaquettes, le polissage chimique-mécanique (CMP), les bosses de soudure, la métrologie de hauteur de bosse, etc. Cet atout peut être personnalisé pour répondre à une variété de besoins de contrôle de processus. En outre, le Dragon 2300 est conçu pour répondre aux exigences de répétabilité et de précision les plus strictes, ce qui en fait le choix idéal pour les environnements de production.
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