Occasion ASML YieldStar S100 #9205646 à vendre en France

ASML YieldStar S100
ID: 9205646
Taille de la plaquette: 12"
Overlay measurement system, 12" Non functional.
ASML YieldStar S100 est un essai de gaufrette et un équipement de métrologie développé par ASML qui mesure la platitude, defectivity et d'autres paramètres de gaufrette cruciaux pour améliorer la production et l'intégrité. Il utilise la métrologie optique avancée, y compris la microscopie à interférence lumineuse spatiale (SLIM), pour inspecter l'ensemble de la plaquette, fournissant ainsi des informations complètes sur la structure de la plaquette et ses paramètres. L'ASML YIELD DSTAR S-100 comprend jusqu'à quatre systèmes d'essai et de métrologie des plaquettes, chacun pouvant inspecter seize plaquettes à la fois. Il est capable de mesurer jusqu'à 30 000 points de mesure, et dispose d'une faible détection des défauts sous la face ainsi que des capacités de champ sombre et de déphasage. Son système de métrologie intra-champ et cross-field mesure les paramètres sur toute la surface de la plaquette et est capable de réaliser rapidement des mesures précises sur des semi-conducteurs à couches exposées et complexes. YieldStar S100 fournit aussi des paquets de logiciel puissants tels que le Miroir Déformable BDF Avancé (ADM) pour la métrologie efficace et fiable. Cela permet à l'unité de traiter un grand nombre de points de mesure en peu de temps, améliorant la productivité. De plus, YIELD DSTAR S-100 utilise un étage EWF qui déplace et fait tourner la plaquette automatiquement. Sa chambre à vide intégrée et sa turbine porte-air offrent un environnement de test sans contamination, assurant ainsi une plus grande précision pour les mesures. La machine à cassette ASML « FlexFilm » est utilisée pour s'assurer que les plaquettes atteignent l'outil dans le même état qu'elles quittent l'usine, sans aucune manipulation supplémentaire pouvant affecter le résultat des mesures. En général, ASML YieldStar S100 est un essai de gaufrette avancé et un actif de métrologie capable de fournir des résultats complets, exacts et fiables au même complexe layered les semi-conducteurs. Il comprend des mesures à grande vitesse, une détection des défauts sous-sol faible, une capacité de déphasage et des tests sans contamination qui peuvent réduire les retards, optimiser les rendements et économiser des coûts.
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