Occasion ASML Yieldstar S200B #9245628 à vendre en France

ASML Yieldstar S200B
ID: 9245628
Taille de la plaquette: 12"
Overlay measurement system, 12".
ASML Yieldstar S200B est un équipement de métrologie de haute précision conçu pour mesurer les paramètres des plaquettes et évaluer les modèles d'essai pour la fabrication lithographique. Le système permet aux utilisateurs d'analyser la qualité des processus de fabrication des plaquettes, y compris les dimensions critiques (CD), la rugosité de la largeur des lignes (LWR) et l'orientation critique (CO). L'unité de mesure comprend un robot de transfert d'un étage pour le transfert et l'alignement précis des échantillons, une tête optique avec des objectifs d'ouverture numérique 100x/10x/0,45, un étage XYZ pour la capture d'échantillons et le contrôle automatique de la focalisation, et un moniteur LCD haute résolution pour une meilleure qualité d'image. YieldStar présente aussi l'éclairage réglable et substrate précis Chuck pour éliminer des réflexions de la gaufrette évaluée. Les capacités de traitement d'image de la machine comprennent l'imagerie couleur, l'imagerie numérique à échelle de gris, la comparaison d'images, la reconnaissance de motifs de base, et la métrologie CD. Il offre également divers outils d'analyse de motifs et des fonctionnalités avancées telles que la recherche de motifs et la mesure de la densité de terrain pour l'extraction et l'analyse de caractéristiques à haute résolution. L'outil Yieldstar S200B fournit une analyse fiable et précise grâce à la combinaison de techniques automatisées d'alignement et de mesure. De telles caractéristiques s'avèrent particulièrement utiles dans des applications telles que la métrologie nano-bump, l'isolation/caractérisation d'un seul appareil et l'analyse des microvias/interconnexions. L'actif dispose également d'une suite logicielle qui fournit un contrôle complet sur l'ensemble du processus de mesure et d'analyse, permettant aux utilisateurs de traiter rapidement et facilement les résultats des tests et de générer des rapports. Avec ses capacités flexibles, YieldStar est idéal pour un large éventail d'applications dans l'industrie de semi-conducteur, tel que l'analyse de variation dans les caractéristiques de gaufrette, détection de défaut et caractérisation et développement de processus de fabrication et optimisation.
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