Occasion ASML YieldStar S250 #9359414 à vendre en France
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ID: 9359414
Taille de la plaquette: 12"
Overlay measurement system, 12"
Does not include Hard Disk Drive (HDD).
ASML YieldStar S250 est un essai de gaufrette et un équipement de métrologie qui est conçu pour permettre la mesure rapide et fiable de paramètres de gaufrette, en permettant des productions augmentées et systématiquement une haute qualité. Le système dispose d'un module intégré de métrologie en ligne de 300mm avec une architecture à haut débit. Ceci lui permet de mesurer des paramètres de plaquettes tels que la résistance des tôles, le profil latéral, la densité des défauts et l'épaisseur des couches minces, ainsi que les paramètres associés du dispositif tels que les niveaux de dopants, l'épaisseur de la couche d'oxyde et la répartition des contraintes résiduelles. Les dispositifs OCR et OGI peuvent également être utilisés pour détecter des problèmes tels que le craquage ou la décantation de particules. L'unité est capable de tester des plaquettes de silicium et de non-silicium avec une vitesse et une précision sans précédent. Il utilise des techniques d'étalonnage avancées et un champ de vision aérien optimisé, permettant à la machine de prendre des mesures précises même lorsque la plaquette n'est pas centrée. Cela garantit que l'outil est fiable et répétable dans ses performances. En outre, l'actif comporte un modèle d'interférométrie laser pour mesurer les dimensions critiques intra-die à des résolutions d'un nanomètre. Ceci permet à l'équipement de déterminer avec précision les structures structurées sur chaque filière, ainsi que leur mise en place les unes par rapport aux autres. YieldStar S250 présente aussi de nombreux traits de sécurité et des techniques pour prévenir la perte de données ou d'autres éditions. Il est conçu pour fonctionner dans un environnement contrôlé, avec un système de surveillance d'écran en temps réel pour le contrôle des processus en boucle fermée et des contrôles automatiques à l'unité pour le diagnostic et la récupération des défaillances. Tous ces traits combinés rendent ASML YieldStar S250 une machine idéale pour contrôler et analyser la qualité de gaufrettes pendant la production de masse. En utilisant cet outil, les fabricants peuvent détecter les problèmes tôt, améliorant ainsi le rendement global et la fiabilité.
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