Occasion ASML YieldStar #9399584 à vendre en France
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ASML YieldStar est un essai de gaufrette très haut de gamme, avancé et un équipement de métrologie qui est utilisé pour mesurer des caractéristiques de gaufrette pendant les pas de fabrication différents. Il fournit de petites mesures précises d'une variété de modèles de plaquettes et est utilisé pour l'analyse critique pendant le processus de production. Les composants de base du système comprennent un microscope à plaquettes haut de gamme, une unité de positionnement de haute précision et un logiciel de traitement d'image avancé. Le microscope utilise l'éclairage hors axe, le champ lumineux et le champ sombre pour fournir des images détaillées de la plaquette. La machine de positionnement est capable de maintenir avec précision une position relative donnée dans un espace tridimensionnel. Cela permet de prendre des mesures à travers plusieurs profondeurs et sections transversales. Pour évaluer une gaufrette, l'outil d'YieldStar peut être programmé pour exactement lire l'échantillon rapidement et mesurer une variété de traits. Il pourrait s'agir des dimensions critiques des largeurs de ligne, des profondeurs de gravure et des niveaux de densité. L'actif peut également être utilisé pour mesurer le chevauchement des contacts, la continuité et le rendement. Il peut détecter des défauts de surface, tels que des rayures et des fosses, et mesurer la planéité de la surface. De plus, il est capable de détecter les fentes, les fentes et les cavités. Les données collectées à partir de la plaquette sont renvoyées au logiciel pour une analyse plus approfondie. Le logiciel utilise ensuite une variété d'algorithmes de calcul pour l'analyse de la taille et de la forme des fonctionnalités, l'évaluation statistique et la cartographie. Supplémentairement, le modèle ASML YieldStar est capable de fournir l'analyse de tendance de produit et les capacités de détection de défaut. YieldStar est un outil inestimable dans le semi-conducteur d'aujourd'hui fabs. Sa combinaison de métrologie de haute précision et de logiciels avancés de traitement d'images le rend idéal pour l'inspection de modèles complexes et la détection de petits défauts. Ceci est essentiel pour la production de dimensions de plaquettes toujours plus réduites et de motifs plus denses utilisés dans la fabrication moderne de semi-conducteurs. En améliorant la qualité et l'exactitude de production, l'équipement ASML YieldStar est des dents essentielles dans le présent et futur de réalisation de puce.
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