Occasion BRUKER-AXS Dektak XT #9238090 à vendre en France

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ID: 9238090
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2012
Profiler, 8" With PC Stylus options: Stylus radius: 50 nm - 25 pm High Aspect Ratio (HAR): 200 pm x 20 pm X/Y Manual leveling: Manual: 100 mm Motorized: 150 mm Sample R-Θ stage: Manual: Continuous 360° Motorized: Continuous 360° Computer system: 64-Bit multi-core parallel processor Operating system: Windows 9 / 7.0 Measurement technique: Stylus profilometer (contact measurement) Measurement capability: 2D Surface profile measurements Sample viewing: Digital magnification, 0.275 to 2.2 mm vertical FOV Stylus sensor: Low Inertia Sensor (LIS 3) Stylus force: 1-15 mg With LIS 3 sensor Vibration isolation Scan length range with scan stitching capability: 55 mm, 200 mm Data points per scan: 120,000 Sample thickness: 50 mm Step height repeatability: 4 A, 1σ, 51 pm (30 scans using a 12.5 pm stylus) Vertical range: 1 mm Vertical resolution: 1 A (6.55 pm range) Input power: 100-240 VAC, 50-60 Hz Humidity range: ≤80% Vibration table included Temperature range: Operating range: 20°C & 25°C (68°F-77°F) 2012 vintage.
BRUKER-AXS Dektak XT est un équipement avancé d'essai et de métrologie de plaquettes spécialement conçu pour la fabrication de semi-conducteurs et la métrologie. Ce système offre des mesures automatisées des dimensions critiques (CD) et des paramètres de topographie de surface sur des plaquettes jusqu'à 200mm pour le silicium et les matériaux semi-conducteurs composés. L'unité utilise des techniques avancées telles que Step Height Analysis pour des mesures de topographie haute résolution et Form Registration (FR) pour des mesures de hauteur de pas et de terrain très précises. De plus, BRUKER-AXS DEKTAKXT peut mesurer un certain nombre de caractéristiques électriques telles que la résistance, la capacité et les résistances de barrière de surface. Dektak XT utilise des outils de métrologie de haute précision pour fournir une précision sous-angstrom dans la détermination des caractéristiques nanométriques sur les plaquettes. La machine efficace comprend un lecteur de mouvement Z contrôlé par ordinateur et un guide de mouvement X de précision pour mesurer avec précision les petites caractéristiques sur les plaquettes sans sacrifier la vitesse. DEKTAKXT est optimisé pour la mesure de microstructures et de nanostructures, avec une plage de travail de 10 μ m à 50 μ m. En plus des mesures précises pour les plaquettes, BRUKER-AXS Dektak XT comprend un design ergonomique avec un accès large et dégagé à la zone sous la scène pour la couverture inégalée requise pour les plaquettes minces d'aujourd'hui. Une gamme de capacités d'imagerie sont fournies par l'optique confocale qui peut mesurer des caractéristiques jusqu'à 40 μ m. Une tête de balayage permet de configurer des tailles de taches allant de 10 μ m à 200 μ m. BRUKER-AXS DEKTAKXT est un outil de métrologie automatisée très précis optimisé pour la fabrication de semi-conducteurs. Des fonctionnalités avancées telles que l'analyse de la hauteur des marches et l'enregistrement des formulaires permettent de mesurer avec précision les caractéristiques nanométriques et microscopiques des plaquettes. Sa commande de mouvement efficace permet une précision sous-angstrom à vitesse maximale. La conception ergonomique offre un accès facile à la zone sous la scène pour gérer les mesures rapides et précises efficacement. Un assortiment de capacités d'imagerie et de tailles de points ajoute à la polyvalence de Dektak XT et facilite les mesures efficaces pour les dispositifs semi-conducteurs complexes d'aujourd'hui.
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