Occasion CAMECA Lexfab 300 #293616123 à vendre en France
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ID: 293616123
Shallow probe metrology system
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7, P/N: 003-1600-29
VARIAN Turbo-V 81-AG
VAT 02112-BA24-BBJ1.
CAMECA Lexfab 300 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour mesurer les propriétés physiques et chimiques des plaquettes à semi-conducteurs. Ce système est conçu pour fournir des résultats de test de plaquettes avec un haut degré de précision, tout en fournissant une excellente répétabilité. L'unité utilise une source de plasma à couplage capacitif (PCC) qui est capable de scanner jusqu'à 300mm ² plaquettes, ce qui lui permet de suivre le rythme rapide de l'industrie des semi-conducteurs qui progresse rapidement. Il comprend également un spectromètre à trois longueurs d'onde à pression variable qui est capable d'analyser les éléments atomiques à la surface de la plaquette, à l'aide d'informations provenant de trois longueurs d'onde différentes. Ces données sont ensuite affichées dans des rapports graphiques conviviaux, permettant une analyse et une interprétation rapides des résultats. Outre la source CCP et le spectromètre à trois longueurs d'onde, la machine dispose également d'un outil de cathodoluminescence humide (WECL). Cet atout fonctionne en produisant une lumière bleue intense lorsque la plaquette enduite est exposée à une charge électrique élevée, aidant à identifier les défauts sur la surface. Le modèle comprend également une station de gravure chimique humide, permettant l'élimination des contaminants métalliques ou d'autres contaminants de surface. L'équipement peut également être utilisé pour effectuer l'imagerie spectrale et la cartographie des plaquettes, ce qui permet à son tour d'identifier toutes les régions de contamination localisées. L'image est ensuite capturée et affichée dans différents formats, ce qui permet aux utilisateurs d'examiner en détail les contaminants. Le système est également très modulaire, ce qui permet de surveiller et de contrôler divers paramètres tels que la pression, la température et l'énergie fournie à la source de plasma. Cela garantit que l'unité est en mesure de produire des résultats d'essais répétables rapidement et efficacement. Dans l'ensemble, CAMECA LEXFAB300 est une excellente machine pour tester, mesurer et analyser les plaquettes semi-conductrices. Il dispose d'une gamme d'outils et de fonctionnalités puissants, donnant aux utilisateurs la capacité d'obtenir rapidement des résultats précis de leur programme de test de plaquettes. De plus, sa modularité permet d'adapter facilement l'outil aux besoins de tout programme de test spécifique.
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