Occasion DNS / DAINIPPON Lambda Ace VM-2200 #293664935 à vendre en France

DNS / DAINIPPON Lambda Ace VM-2200
ID: 293664935
Taille de la plaquette: 4"
Film thickness measuring system, 4".
DNS/DAINIPPON Lambda Ace VM-2200 est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes conçu pour la métrologie avancée du niveau de la plaquette au niveau de la matrice. Avec l'avancement du processus semiconducteur, la capacité de mesurer les caractéristiques du motif à des niveaux de nanomètre et de dix nanomètres est toujours requise. Le VM-2200 est un système intégré d'essais et de métrologie qui répond à cette demande. La disposition optique de l'unité est basée sur une machine à balayage laser super rapide, fournissant la vitesse de relevé la plus élevée et des résultats de test précis. La plate-forme est compatible avec différents types de plaquettes, dont le silicium, GaAs et TIMS (un type de semi-conducteur à couches minces). L'outil a une grande capacité, composée de deux étages, quatre ports, et un processeur d'image haut de gamme. Cette configuration permet de tester simultanément plusieurs plaquettes. Le processeur haut de gamme est capable de traiter rapidement des données d'image complexes. Cela contraste avec les microscopes à balayage traditionnels, qui nécessitent une analyse d'image individuelle avec un processeur plus lent. La vitesse d'acquisition de l'image est également beaucoup plus rapide en raison de l'actif laser. Le VM-2200 dispose également d'une suite logicielle spécialisée pour la métrologie et l'inspection optique. Le logiciel permet une analyse efficace des données des plaquettes, ainsi que des ajustements dans les paramètres de test. Ce logiciel permet à l'utilisateur de peaufiner le modèle pour chaque application. En outre, le logiciel fournit également une interface pour analyser les données en temps réel et générer des rapports automatisés. En outre, l'équipement est équipé de caractéristiques avancées qui fournissent un haut degré de contrôle et de mesures précises. Ces caractéristiques comprennent un scatteromètre intégré, permettant une mesure précise de la largeur de ligne et du pas de ligne, ainsi qu'un interféromètre à déphasage, qui est pour mesurer l'épaisseur des couches minces. De plus, le système comprend une unité d'alignement automatisée qui calibre rapidement et précisément la machine pour chaque application. DNS Lambda Ace VM-2200 est l'outil idéal pour la mesure haute vitesse et haute précision des plaquettes. Avec ses fonctionnalités sophistiquées et son interface utilisateur intuitive, le VM-2200 est le choix idéal pour les applications avancées de métrologie à des niveaux de nanomètre et de dix nanomètres.
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