Occasion E+H METROLOGY MX 204-8-37-Q #9234111 à vendre en France
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ID: 9234111
Style Vintage: 2007
Wafer measurement system
Square / Pseudo-square: 125-156 mm
Gauge type: MX 204-8-25-q
Thickness range: 200 - 600 μm
Real: 180 - 600 μm
CE Marked
2007 vintage.
Le E + H METROLOGY E + H METROLOGY MX 204-8-37-Q est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour fournir des données de mesure de haute vitesse et précision. Ce système offre des capacités de lithographie avancées qui permettent de mesurer des profondeurs et des dimensions de gravure précises, dans une méthode rapide et automatisée. L'unité complète se compose d'une Machine de Caractérisation de Gaufrette Configurable MX204 (CWC), un lit d'essai intégré, plusieurs technologies d'automation et un large éventail d'accessoires et de connecteurs qui composent un paquet de métrologie complet. En général, l'outil fonctionne à des vitesses élevées et est capable de mesurer des échantillons en moins de 12 secondes. Il est équipé d'un microscope optique haute résolution qui fournit un champ de vision maximum de 1,5 um et une résolution de 0,5 um, ainsi qu'un outil intégré de manutention des plaquettes qui permet d'analyser des échantillons même à une température pouvant atteindre 40 degrés C. Le microscope optique est capable de mesurer avec précision la planéité des plaquettes, épaisseur et taille des défauts afin de surveiller les paramètres du processus. En outre, il peut images échantillons en temps réel et fournir un affichage en temps réel de jusqu'à 20 images. En outre, les technologies d'automatisation incluses dans le modèle sont capables de fournir un processus d'inspection entièrement automatique qui comprend des défauts et la mesure de profondeur/dimension de gravure. En outre, l'équipement intègre également un contrôleur logique programmable (PLC) pour s'adapter aux changements rapides de l'environnement et une liaison série pour contrôler les équipements périphériques. Le système dispose également d'un support pour une variété de recettes d'essai et de métrologie, y compris les exigences automobiles et optiques. En outre, l'unité est hautement configurable pour répondre aux demandes de divers utilisateurs. Il comprend le logiciel E + H MAGSYS METROLOGY, une plateforme puissante pour une classification efficace de la métrologie et des défauts, ainsi qu'une machine à sonder pour tester des échantillons à grande vitesse. Cette machine est également compatible avec une vaste gamme de systèmes de mesure tiers, y compris Teradyne et KLA. Enfin, l'outil peut être connecté à un ordinateur via une liaison série et une connexion Ethernet. L'actif est également livré avec une variété d'accessoires, tels qu'une plate-forme de détection de bord de Wafer et une plate-forme d'inspection. En outre, un ensemble de configuration et de service est également disponible avec le modèle afin de faciliter l'installation et le démarrage rapides, ainsi que l'étalonnage et la maintenance.
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