Occasion EPIPLUS / ETAMAX PL+ M100 #9000233 à vendre en France
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ID: 9000233
Taille de la plaquette: 2"-4"
Style Vintage: 2010
Photoluminescence mapping metrology system, 2"-4"
Manual PL for use with blue and UV LEDs
Currently set up for 2" wafers and can run 4" as well
This is a combination of the EpiPlus and EtoMax hardware/software and running as an EtoMax Platom manual loading system
System operates in dual mode measuring both PL and thickness at the same time
System measures PL(Blue), PL (UV), PL + RF and RF
Software allows for custom susceptor design to display result per wafer loaded pockets
Comes with Plato User Guide & Pl + M100 Operation Manual
2010 vintage.
EPIPLUS/ETAMAX PL + M100 est un équipement de test et de métrologie de plaquettes de haute performance qui offre des solutions de pointe pour des applications avancées de fabrication de semi-conducteurs. Il est équipé d'un système de métrologie optique laser capable de mesurer un large éventail de jeux de paramètres, allant des caractéristiques de la structure de surface, de la profondeur et de la hauteur des caractéristiques, aux mesures électriques tridimensionnelles de la profondeur, du champ électrique et de la concentration de dopage des dispositifs. L'unité à 8 axes unique d'ETAMAX permet aux utilisateurs d'effectuer des mesures sans contact de caractéristiques qu'il serait impossible d'obtenir à l'aide d'outils classiques. La tête optique haute résolution obtient une excellente précision en termes de taille des caractéristiques et de mesure du profil. La machine est également capable de mesurer une gamme de paramètres tels que la largeur de ligne, la dimension critique, les erreurs de recouvrement et l'angle de flanc. L'outil dispose également d'une suite logicielle intégrée qui fournit une gamme de fonctionnalités puissantes, y compris l'autofocus, l'OCR (Optical Character Recognition) pour la reconnaissance des caractères, et l'inversion de balayage optique, permettant aux utilisateurs de mesurer facilement les appareils critiques et les lignes de traces. Le logiciel est également capable d'effectuer des mesures de haute précision, assurant un contrôle précis de la dimension critique, de l'alignement et des erreurs de recouvrement afin d'augmenter le rendement. ETAMAX PL + M100 est spécifiquement conçu pour être facile à utiliser, avec une interface utilisateur intuitive qui permet aux opérateurs de faire fonctionner l'actif rapidement, même parmi le personnel non formé. Il peut également être utilisé pour réaliser toute une gamme d'applications, y compris la recherche de plaquettes, l'identification de défauts et la mesure d'épaisseur de photorésistance. En conclusion, EPIPLUS PL + M100 est un outil puissant et fiable pour les applications semi-conductrices. Son modèle 8 axes unique et sa suite logicielle intégrée en font une solution parfaite pour les tests professionnels et les besoins en métrologie. Sa polyvalence et sa facilité d'utilisation garantissent que l'équipement peut être utilisé par les utilisateurs de tous les niveaux de compétences.
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