Occasion FARO 3D Platinum #9006174 à vendre en France

FARO 3D Platinum est un équipement avancé d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour la mesure et l'essai de précision des plaquettes à semi-conducteurs. Il fournit des mesures précises dans les directions X et Y, ainsi que la profondeur dans la direction Z. Il est basé sur une plate-forme de balayage à haute vitesse et intègre un interféromètre laser de précision pour un contrôle précis du mouvement. L'interféromètre laser mesure les mouvements relatifs dans trois directions orthogonales et l'accélération, la décélération et la direction du mouvement. Son système de métrologie optique est basé sur une technologie confocale avancée et est capable de mesurer avec précision le profil et la forme, la hauteur et la rugosité des plaquettes ainsi que de détecter les non-uniformités. Son unité optique unique fournit des mesures 3D avec une précision et une répétabilité fiables, tandis que sa large gamme de balayage couvre non seulement toutes les tailles de plaquettes de semi-conducteur, mais offre également la flexibilité pour répondre aux tendances futures des semi-conducteurs. La machine 3D Platinum est intégrée à une interface logicielle de métrologie automatisée leader dans l'industrie, avec des capacités complètes de test et d'inspection des composants. Ils comprennent la surveillance des paramètres du processus, l'analyse des défauts, l'imagerie haute résolution et la catégorisation automatique des défauts, ainsi que l'analyse 3D des fonctionnalités avancées des composants. L'outil complet, matériel et logiciel, est conçu pour être intégré dans un processus complet en ligne. Il est capable de détecter et de rejeter les plaquettes avant de lancer un processus et/ou d'inspecter les plaquettes post-lithographie et/ou post-CMP. Les résultats des mesures de métrologie automatisées peuvent être enregistrés et utilisés pour le contrôle en ligne des processus, ainsi que pour le contrôle statistique des processus. L'actif FARO 3D Platinum répond aux exigences des normes industrielles les plus strictes, telles que SEMI 1463 et IEO 715. Il est conçu pour des performances et une stabilité fiables, avec un contrôleur robuste et un taux d'échantillonnage élevé. Il permet aux fabricants de répondre aux exigences des spécifications essentielles à la mission et de maintenir des performances cohérentes dans un environnement de fabrication sûr.