Occasion FEI DA300 #9259261 à vendre en France
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ID: 9259261
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Defect analyzer, 12"
ADR / ADX and Defect explorer function
Sirion SEM column
Side winder ion column
20664 Metal dep GIS
24919 Idep II
20377 Insulator enhanced etch
27820 Chiller (SM)
27040 Optical microscope color with separate monitor
402219861750 LPO fixload (6) Express
Wafer, 12"
(2) FOUP
Dry cool detector
TS800 Defect review
28080 FEI EDX Installed kit / EDX Interface
22448 EDWARDS iQDP40 Dry pump
UPS 15 kVA
17767 TEAM TP-6530 Video printer
402226169640 NANO Lift system package
With (TSU and In-Situ Probing and Loading station)
28557 / 28559 OXFORD INCA 200 for FEI
(12) 402226800872 Transfer cartridges
(50) 402226200773 Omniprobe needles
402226245431 TEM Grids
2005 vintage.
FEI DA300 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes développé par la société FEI pour aider à améliorer la précision et l'efficacité des essais de plaquettes. Le système est conçu pour fournir des résultats reproductibles de haute précision, tout en maintenant un temps de cycle rapide. L'unité dispose d'une plate-forme optique haute résolution, d'un microscope électronique à balayage (SEM), d'un faisceau d'ions focalisé (FIB) et d'un spectromètre de masse pour fournir une gamme de capacités de mesure. La plate-forme optique utilise une caméra 5MP pour permettre une imagerie de haute précision jusqu'à 2 microns de résolution. Il permet également d'utiliser diverses techniques d'imagerie, telles que l'imagerie en champ sombre, l'imagerie en champ lumineux et l'imagerie polarisée. Le SEM est capable de capturer des images à des résolutions allant jusqu'au niveau du nanomètre, et peut être utilisé pour analyser les propriétés électriques et chimiques du dispositif testé. La FIB fournit une approche plus ciblée de la caractérisation des dispositifs en permettant le broyage et le dépôt localisés d'échantillons. Enfin, le spectromètre de masse fournit une méthode non destructive d'analyse de la composition chimique ou moléculaire d'un échantillon. DA300 est également équipé d'une variété de fonctionnalités automatisées pour augmenter l'efficacité. Il comprend un préposé robotique pour permettre le chargement et le déchargement rapides des plaquettes de la machine. Il comprend également un outil à vide et un étage d'échantillonnage pour permettre un positionnement précis et reproductible de l'échantillon à chaque station de mesure. L'actif fonctionne en combinaison avec une suite de logiciels spécifiquement conçus pour profiter des capacités matérielles avancées. Le logiciel FEI DSA est utilisé pour programmer le gestionnaire d'échantillons robotiques pour scanner et mesurer plusieurs plaquettes en un seul cycle. Le logiciel EMate est utilisé pour analyser les images SEM, tandis que le logiciel Genix est utilisé pour contrôler la FIB. Enfin, le logiciel FEI Extend est utilisé pour relier les différents éléments du modèle et fournir une interface intégrée pour toutes les mesures. Dans l'ensemble, FEI DA300 est un outil puissant pour l'essai de plaquettes et la métrologie. Son matériel avancé et ses capacités automatisées permettent un haut degré de précision et de débit, tandis que sa gamme complète de logiciels assure une intégration transparente entre tous les éléments de l'équipement.
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