Occasion FEI DA300 #9266820 à vendre en France
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ID: 9266820
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Dual beam Scanning Electron Microscope (SEM), 12"
Upgraded to SEM and FIB columns
Electron NG SEM SFEG Column
Sidewinder FIB Column: 20 nA
XYZRT Stage has been replaced
OMNIPROBE 200
BROOKS Dual front end, 12"
STEM Detector
Capacitance probe
TEM Sample unloader unit
Chiller
Pre-vacuum pump
Manual included
Operating system: Windows XP
2010 vintage.
FEI DA300 est un équipement révolutionnaire d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour répondre aux exigences du traitement de pointe des nœuds de technologie et de la gestion des rendements. Développée par FEI Company, DA300 est une plateforme de métrologie unifiée qui combine plusieurs solutions de métrologie en un seul système. Cela permet aux utilisateurs d'avoir une flexibilité maximale dans la mise à l'échelle des solutions individuelles de plaquettes à la sonde de production de volume élevé. L'unité FEI DA300 offre un débit élevé et une précision sans compromis pour l'inspection et la vérification des performances des plaquettes et dispositifs d'entrée, entrée et sortie. Ses capacités de métrologie avancées proviennent de la combinaison de l'inspection optique avancée FEI et de diverses solutions de caractérisation. L'inspection optique fournit des images sous-microns de résolution des mesures de surface, électriques et liées aux procédés, tandis que les différentes solutions de caractérisation offrent une caractérisation complète de la résistance et de la capacité, du courant de fuite et de la constante diélectrique. La machine est également capable de sonder une seule filière à grande vitesse. La conception mécanique de pointe de DA300 plate-forme est optimisée pour réduire le temps de cycle et augmenter le débit, tout en maintenant un contrôle serré de la force de sonde pour minimiser l'impact sur les performances du dispositif. La technologie innovante AutoFocus utilise l'optique différentielle pour faciliter la focalisation rapide et cohérente de la tête de sonde, ce qui entraîne une réduction significative du temps total d'installation. Pour permettre un contrôle rapide et facile du matériel et du logiciel, FEI DA300 est équipé d'un bras robotique automatisé. Ce bras robot est piloté par ordinateur et fournit un mouvement rapide et flexible, ainsi qu'un contrôle de la force de préhension et de sonde des plaquettes. L'outil peut être personnalisé en utilisant des modules complémentaires facultatifs, tels que SEM/FIB, Raman et High-Resolution Critical Dimensions Measurement (HR-CDM). L'intégration complète avec la suite logicielle FEI fait de DA300 une solution idéale pour des besoins de métrologie complets. FEI DA300 offre des performances et une précision supérieures sans compromettre la flexibilité ou la longévité. Sa configuration flexible offre une liberté maximale de conception et la capacité de s'adapter facilement aux exigences changeantes du produit. La conception robuste et les fonctionnalités innovantes de la plateforme permettent à l'actif de gérer n'importe quelle application wafer, garantissant des résultats fiables et reproductibles.
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