Occasion FILMETRICS Profilm 3D #293622627 à vendre en France
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ID: 293622627
Thickness measurement system
Optical profiler with VSI
Autofocus
4-Position turret
Auto stage, 100 mm x 100 mm
Profilm data acquisition
Vibration isolation: Accurion Nano30
Objective lens:
10x NIKON Mirau Interferometric
50x NIKON Mirau Interferometric.
FILMETRICS Profilm 3D est un équipement automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie qui permet aux utilisateurs de mesurer l'épaisseur des couches épaisses et minces, la vitesse de dépôt, la contrainte intégrée, et plus encore. Le système a un large champ de vision et peut accueillir des plaquettes jusqu'à 8 ". Il utilise une unité d'imagerie 2D pour capturer des images haute résolution de la topographie du film puis générer une carte 3D de la surface. Cette carte est ensuite analysée pour calculer l'épaisseur du film, avec une précision allant jusqu'à 4 microns. La machine mesure également les propriétés du film telles que la vitesse de dépôt, l'indice de réfraction et la contrainte intégrée. Une boucle de rétroaction en boucle fermée permet une rétroaction en temps réel pour l'optimisation automatisée des dépôts. L'outil Profilm 3D est conçu pour faciliter l'utilisation et est livré avec un logiciel complet de contrôle, de mesure et d'analyse pour aider les utilisateurs à mesurer, analyser et optimiser leurs processus. Le logiciel comprend une base de données intégrée pour stocker et analyser les données, ainsi qu'une interface utilisateur graphique pour accéder et gérer les paramètres d'analyse des données. L'actif est également livré avec des rapports automatisés pour fournir aux utilisateurs des résultats significatifs. Les rapports comprennent des moyennes de données, des graphiques et des histogrammes, qui peuvent être consultés à l'écran et exportés vers un fichier. De plus, un assistant de configuration de modèle facilite la configuration par une série d'étapes, permettant aux utilisateurs de configurer rapidement l'équipement pour une performance et une précision optimales. FILMETRICS Profilm 3D est une solution idéale pour le test et la métrologie de plaquettes avec une variété d'applications dans les industries semi-conductrices, médicales, photovoltaïques et optiques. Grâce à sa grande précision, ses résultats reproductibles et sa facilité d'utilisation, Profilm 3D est un excellent choix pour toute machine d'automatisation.
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