Occasion FORCE Step-4 #9059527 à vendre en France
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FORCE Step-4 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes fournissant des données complètes d'analyse physique, électrique et optique de dispositifs semi-conducteurs avancés. Le système comprend deux composants principaux : l'unité de contrôle de mouvement de précision et la machine de métrologie avancée. L'outil de commande de mouvement se compose de dix étages à trois axes qui contrôlent la position, la rotation et la taille. Il assure un alignement et un balayage précis, ainsi qu'une manipulation robuste tout au long du processus de mesure de paramètres multiples à partir d'un seul échantillon. L'actif de métrologie avancée comprend le microscope à faisceau d'électrons, l'unité de balayage laser, le profileur laser électrique, le spectromètre optique et le module de revêtement de spin. Le microscope à faisceau d'électrons fournit des images haute résolution de la plaquette en cours d'essai et peut être utilisé pour mesurer la topographie de surface ainsi que pour inspecter les défauts. L'unité de balayage laser permet une cartographie de surface rapide et une caractérisation complète des caractéristiques de surface. Le profileur laser électrique permet une précision de mesure de sous microns et est particulièrement bon pour caractériser les gradients de contraintes fines ou améliorer la résolution des cartes de surface. Le spectromètre optique peut caractériser différentes couches de matériaux à la surface de la plaquette. Enfin, le module d'enrobage est utilisé pour appliquer des couches de matériau uniformes sur la plaquette, permettant une analyse plus poussée de ces couches. En outre, Step-4 comprend de nombreuses fonctionnalités logicielles qui permettent une analyse automatisée, précise et répétable des plaquettes. Ces outils vont d'outils d'analyse statistique de base tels que le filtrage des données à des analyses complexes corrélées à une base de données de référence. Le logiciel est très efficace et convivial, avec une interface graphique moderne et des procédures de mesure optimisées. FORCE Step-4 est conçu pour une fiabilité et une répétabilité maximales des résultats des essais de wafer et de métrologie. Il est conforme aux normes de l'industrie pour le contrôle de la qualité des données et peut être facilement intégré dans n'importe quelle chaîne de production. Ce modèle est un outil puissant et essentiel dans les domaines du développement et de la production de dispositifs à haute performance pour semi-conducteurs, et il est déjà utilisé dans les grandes industries du monde entier.
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