Occasion FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 128NT #9311397 à vendre en France

FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 128NT
ID: 9311397
Film stress measurement system.
FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 128NT est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour fournir des capacités de processus de bout en bout. Ce système permet aux fabricants de puces d'identifier les causes profondes potentielles de la perte de rendement et d'améliorer les conditions de processus. FSM 128NT comprend une variété de matériel, de logiciels et d'outils de métrologie. L'unité utilise des étages mécaniques à commande pneumatique pour manipuler des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre, tout en permettant des réglages fins pour la planéité et l'inclinaison. Les étapes sont conçues pour être compatibles avec divers types de systèmes d'essai et de métrologie, y compris le faisceau d'ions focalisé, l'analyse de défaillance, l'inspection optique, la microscopie conductrice à force atomique et d'autres techniques de sondes. La machine dispose également d'un mandrin flottant multi-canaux avec une plage de température réglable de mandrin qui peut être contrôlé de 1 ° C à 300 ° C, permettant une flexibilité lors de l'essai de différents types de matériaux et de procédés. En outre, son générateur de die-map permet à l'utilisateur de sélectionner, modifier et enregistrer facilement des cartes de plaquettes, et un outil de reconnaissance de localisation d'échantillons est également inclus, permettant une manipulation rapide des échantillons avec une plus grande précision. L'actif de métrologie inclus comprend un modèle de métrologie optique intégrée qui peut mesurer les caractéristiques décrites en utilisant diverses techniques interférométriques laser pour déterminer la profondeur de gravure, l'uniformité CD, et d'autres paramètres. FRONTIER SEMICONDUCTOR 128-NT offre également une corrélation de données afin de détecter et de suivre de multiples canaux de test et de métrologie. Cela garantit que les données saisies à chaque étape sont correctement corrélées et peuvent être suivies dans le temps. L'équipement dispose également d'une plate-forme évolutive qui peut être conçue pour répondre aux exigences spécifiques de la chaîne de production. Cela réduit le besoin de systèmes de test et de métrologie séparés des plaquettes, et permet à l'utilisateur de personnaliser et de reconfigurer le système au besoin. 128NT est une unité complète d'essai de plaquettes et de métrologie, fournissant les outils et les caractéristiques nécessaires pour atteindre les niveaux les plus élevés de rendement et de performance. Sa combinaison de matériel, de logiciels et d'outils de métrologie en font un outil idéal pour la recherche et le développement, ainsi que pour les applications au niveau de la production.
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